[发明专利]防止熔丝烧断损伤的相邻熔丝之间的裂缝挡板无效
| 申请号： | 99126105.4 | 申请日： | 1999-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1291790A | 公开（公告）日： | 2001-04-18 |
| 发明（设计）人： | 查杰塞哈·那拉亚;阿塞尔·布列金格;爱德华·切沃拉;卡尔·拉登斯 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司;英芬能技术北美公司 |
| 主分类号： | H01L23/62 | 分类号： | H01L23/62;H01L21/70 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种集成电路芯片中的熔丝结构,它包括绝缘的半导体衬底;与绝缘的半导体衬底成一整体的由多个平行的共平面熔丝链组成的熔丝组;以及分散在各对熔丝链之间的空洞,此空洞延伸到共平面熔丝链确定的平面以外。围绕着熔丝烧断操作过程中待要被激光束撞击的斑点的空洞,起裂缝挡板的作用,以防止损伤邻近的电路元件或其它熔丝链。借助于对空洞进行恰当的成形和定位,可以获得熔丝之间的紧密间距。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 熔丝烧断 损伤 相邻 之间 裂缝 挡板 | ||
【主权项】：
1．一种熔丝结构，它包含：绝缘的半导体衬底；与所述绝缘的半导体衬底成一整体的由多个平行的共平面熔丝链组成的熔丝组；以及分散在各对所述熔丝链之间的空洞，所述空洞延伸到所述共平面熔丝链确定的平面以外。
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