[发明专利]用于光致抗蚀剂的交联单体,及使用其制备光致抗蚀剂聚合物的方法有效
| 申请号： | 99126687.0 | 申请日： | 1999-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1258670A | 公开（公告）日： | 2000-07-05 |
| 发明（设计）人： | 郑载昌;郑旼镐;白基镐;孔根圭;李根守 | 申请（专利权）人： | 现代电子产业株式会社 |
| 主分类号： | C07C57/145 | 分类号： | C07C57/145;C08F222/06;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 丁业平,王维玉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种化学式1的交联单体,使用该单体制备光致抗蚀剂聚合物的方法,及该光致抗蚀剂聚合物。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 交联 单体 使用 制备 聚合物 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于光致抗蚀剂聚合物的化学式1的交联单体，<化学式1>其中R′和R″分别为氢或甲基；m是一从1至10的数；及R是选自直链或支链的C1-C10烷基，直链或支链的C1-C10酯，直链或支链的C1-C10酮，直链或支链的C1-C10羧酸，直链或支链的C1-C10缩醛，直链或支链的含有至少一个羟基的C1-C10烷基，直链或支链的含有至少一个羟基的C1-C10酯，直链或支链的含有至少一个羟基的C1-C10酮，直链或支链的含有至少一个羟基的C1-C10羧酸，及直链或支链的含有至少一个羟基的C1-C10缩醛。
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