[实用新型]一种双光栅平场谱仪无效
| 申请号： | 99211215.X | 申请日： | 1999-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN2368019Y | 公开（公告）日： | 2000-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张杰;李英骏;魏志义 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/18 | 分类号： | G01J3/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光谱测量技术领域。通过在平场谱仪中附加一个透射式或反射式光栅和在谱仪的前端附加一个可变曲率半径的柱面反射镜的方法来提高谱仪的接收效率、改善谱仪的成象效果并扩大摄谱范围。本实用新型适于对不同光谱范围、不同空间位置的等离子体发射进行空间分辨的光谱测量,造价低,适于弱脉冲光源,具有极高的灵敏度,并可提供空间分辨的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 平场谱仪 | ||
【主权项】：
1.一种双光栅平场谱仪，其特征在于：X射线辐射源(1)经过谱仪的前光阑(2)到达一个曲率半径可变(变化范围500mm-6000mm)的柱面反射镜(3)；此柱面反射镜与1200线/mm的凹面变栅距平场光栅(6)的入射轴成小角度(≤10°)结构；经过柱面反射镜汇聚后的光经过前滤光片(4)和后置光阑(5)到达掠入射凹面变栅距平场光栅后，其一级谱经过后置X射线滤光片(7)被衍射成象到平场面上，则可测波段范围内的光谱被软X射线底片(8)接收；而其反射的零级光再经过1000线/mm的透射式光栅(9)的衍射使波长较长波段的光被分解成光谱，并成象在软X射线底片(8)上。
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