[实用新型]单电荷态ECR离子源无效
| 申请号： | 99256174.4 | 申请日： | 1999-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN2440264Y | 公开（公告）日： | 2001-07-25 |
| 发明（设计）人： | 刘占稳;张子民;丁俊章;赵玉彬;雷海亮;曹云;张雪珍;赵红卫;王义芳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 中国科学院兰州专利事务所 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单电荷态ECR离子源,包括微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第筒;磁铁部分为永磁体,在弧腔内设有双层水冷;在微波窗前设有微波产生及传输装置;本实用新型利用双层水冷弧腔来冷却永磁体可避免对永磁体的腐蚀,另用永磁体代替线包,可减少调节量、降低造价,另采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 ecr 离子源 | ||
【主权项】：
1、一种单电荷态ECR离子源，包括微波窗(1)、磁铁部分(2)、弧腔(4)、等离子体电极(5)、吸极(6)、绝缘环(7)和法拉第筒(8)；其特征在于所述的磁铁部分(2)为永磁体，在弧腔(4)内设有双层水冷；在微波窗(1)前设有微波产生及传输装置(14)。
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