[实用新型]容栅角位移传感器

摘要

本实用新型提供了一种容栅角位移传感器,主要由以透射板作主栅、以分别置于主栅两面的、保持最佳恒定距离的发射极板和接收极板作分体式副栅构成。其特征是透射板上开有辐射状扇形通孔,发射极板上按组分列辐射状栅条,并向耦合区外延伸扩散与相应导电孔连接,组间有屏蔽体围绕,组间夹角等于扇形通孔相邻夹角或该角的整数倍,屏蔽体与栅条间的夹角等于两栅条相邻夹角。这种传感器可通用于中等偏上精度的各类测量角位移的数显量具、量仪。

主权项

1、一种容栅角位移传感器，它包括主栅和副栅，其特征在于：主、副栅都是圆盘形的；主栅由透射板构成，它是一导电薄片，其上以圆心点为中心开有一条条规则的、均匀分布的辐射状扇形通孔；副栅由发射极板和接收极板构成，它们分别置于主栅的两面，发射面与接收面相对安装；发射极板是在绝缘体基板上涂布以圆心点为中心的、按组分布的一条条辐射状导电栅条，组与组之间有导电体围绕屏蔽，每一栅条均向耦合区域外延伸，有规律扩展并与相应的导电孔连接；接收极板也是在绝缘体基板上涂布有与发射极板面积相应的平板形导电体接收面。