[发明专利]在等离子体中产生激活/离子化粒子的装置无效
| 申请号： | 99801752.3 | 申请日： | 1999-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1290399A | 公开（公告）日： | 2001-04-04 |
| 发明（设计）人： | H·斯坦哈德特;J·马图尼;A·格施万德特纳 | 申请（专利权）人： | R3T股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 叶恺东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及在一种过程气体的等离子体中产生激活/离子化粒子的装置,包括一个用于产生电磁波的发生器,一个传输所述电磁波的同轴导体,以及至少一个等离子区,在该段内通过电磁波形成激活/离子化的粒子,本发明所述装置的特征是,等离子区在电磁波同轴导体的内导体中构成。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 产生 激活 离子化 粒子 装置 | ||
【主权项】：
1、在一种过程气体的等离子体中产生激活/离子化粒子的装置，包括一个用于产生电磁波的发生器(11)，一个传输所述电磁波的同轴导体(30)，以及至少一个等离子区(20)，在该段内通过电磁波形成激活/离子化的粒子，本发明的特征是，在同轴导体(30)的位于一个外导体(18)和一个内导体(19)之间的内腔室(31)中，设置一个用于输入过程气体的进口(17)，并且所述内腔构成等离子区(20)。
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