[发明专利]电子组件的三维检测方法和设备无效
| 申请号： | 99802016.8 | 申请日： | 1999-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1287643A | 公开（公告）日： | 2001-03-14 |
| 发明（设计）人： | 埃尔温·M·贝蒂;戴维·P·莫克 | 申请（专利权）人： | 埃尔温·M·贝蒂 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 韩宏 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于检测球形网格阵列即BGA装置(70)的对准和部件检测方法以及设备。两个相机(10、15)对淀积在透明标线片(20)上的带有点图纹的精密图纹掩模(22)进行成像。精密图纹掩模(22)用于系统的校准。光源和架空式光反射漫射器(5)提供照明。第一相机(10)从正下方对标线片精密图纹掩模(22)成像。位于标线片(20)底表面下方的附加反射镜(32、36)或棱镜(30、34)将标线片图纹掩模(22)以侧视图通过棱镜(30、34)或反射表面(32、36、38)反射至第二相机(15)。位于标线片(20)底表面下方的第二附加反射镜(32、36、38)或棱镜(30、34)将该标线片图纹掩模(22)的另一相反侧视图通过棱镜(30、34)或反射镜(32、36、38)反射至第二相机(15)。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 组件 三维 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
1．一种用于检测球形网格阵列(70)的设备，其中该设备通过采用淀积在一个校准透明标线片(20)上的带有点图纹(24)的精密图纹掩模(22)被校准，该用于检测球形网格阵列(70)的设备包括：(a)一个用于安装球形网格阵列(70)的装置；(b)一个用于照射球形网格阵列(70)以提供该球形网格阵列轮廓的装置；(c)一个第一相机(10)，设置成对该球形网格阵列成像以提供球形网格阵列(70)的第一图像(80)；(d)一个第一光反射装置(34)，设置成将该球形网格阵列反射通过一个第二光反射装置(36)进入一个第二相机(15)，其中第二相机(15)提供球形网格阵列(70)的第二图像(90)；(e)一个第三光反射装置(30)，设置成将该球形网格阵列的相反侧视图反射至一个第四光反射装置(32)并进入第二相机(15)，作为球形网格阵列(70)的第二图像的一部分；和(f)一个图像处理装置(13)，用于处理球形网格阵列(70)的第一图像(80)和第二图像(90)，以检测球形网格阵列(70)。
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