[发明专利]具有静电微型致动器的光学微型开关及其使用方法无效
| 申请号： | 99803875.X | 申请日： | 1999-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN1292945A | 公开（公告）日： | 2001-04-25 |
| 发明（设计）人： | J·H·杰曼;J·D·格雷德;J·D·德雷克 | 申请（专利权）人： | 西加特技术有限责任公司 |
| 主分类号： | H02N1/00 | 分类号： | H02N1/00;G11B7/00;G02B6/26 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 徐泰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 静电微型致动器(101)包括衬底(213)和至少一个具有第一与第二梳状驱动件(210a、208a)的梳状驱动组件,每个梳状驱动件配有梳状驱动指(212、211),第一驱动件装在衬底上,第二驱动件覆盖衬底。还包括第一与第二间开隔的梁状弹性件(214、217),至少一个驱动组件置于两个弹性件之间。弹性件第一端部(243)固定到衬底,第二端部(244)固定到第二驱动件。第二驱动件可在第一与第二位置之间移动。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 静电 微型 致动器 光学 开关 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1．一种与沿一条路径延伸的激光束一起使用的光学微型开关，包括：本体，它具有一个适用于接收所述激光束的输入端口和多个输出端口；由本体携带的至少一个镜子和至少一个微型电动机；连接装置，用于把至少一个镜子耦合到至少一个微型电动机，由此至少一个微型电动机移动至少一个镜子从激光束路径外的第一位置到激光束路径内的第二位置，以将激光束引至输出端口之一，至少一个微型电动机具有至少一个静电直线致动器，用于移动至少一个镜子至第一和第二位置之一；以及控制器，它在电气上耦合到至少一个微型电动机，用于对微型电动机提供控制信号。
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