[发明专利]行－列可寻址电微开关阵列及使用其的传感器矩阵无效
| 申请号： | 99804732.5 | 申请日： | 1999-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN1295722A | 公开（公告）日： | 2001-05-16 |
| 发明（设计）人： | 俞钢;曹镛 | 申请（专利权）人： | 优尼爱克斯公司 |
| 主分类号： | H01L51/20 | 分类号： | H01L51/20;H01L27/146 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 梁永,王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明一般涉及制造包括薄半导体膜的两端电微开关,利用这些微开关构成列－行(x－y)可寻址微开关矩阵。这些微开关是两端器件,电流和电位(或它们的导数或积分)通过这些器件根据外部偏置的大小或极性导通和截止。微开关按薄膜结构由电极/半导体/电极形式的半导电薄膜构成。列－行可寻址电微开关矩阵可以在大面积上制造,具有高像素密度。这种矩阵可与电特性响应于外部物理条件(例如光辐射,温度,压力,磁场等)变化的探测层集成,从而形成各种探测矩阵。 | ||
| 搜索关键词： | 寻址 开关 阵列 使用 传感器 矩阵 | ||
【主权项】：
1、一种微开关阵列，包括多个电微开关，多个微开关的每个部件的形式是第一电极/半导体/第二电极层，半导体层是阵列的各部件共享的整体。
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