[发明专利]光掩模坯的保持装置无效
| 申请号： | 99806027.5 | 申请日： | 1999-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN1300384A | 公开（公告）日： | 2001-06-20 |
| 发明（设计）人： | G·戈德尔;A·厄尔曼;G·翁格尔;W·贝森贝克;A·雷特尔 | 申请（专利权）人： | 因芬尼昂技术股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于光掩模坯的保持装置,包括设有用于光掩模坯(4)的支承面(3)的保持体(1)及与光掩模坯(4)的一个导电层(6)可形成电接触的接地单元(10)。接地单元包括一个接触顶尖(15),它可被这样地操作,即它可在实质上对放置在该保持装置中的光掩模坯(4)无侧向相对移动的情况下向下移动到光掩模坯上。 | ||
| 搜索关键词： | 光掩模坯 保持 装置 | ||
【主权项】：
1．用于光掩模坯的保持装置，它包括设有用于光掩模坯(4)的支承面(3)的保持体(1)及与光掩模坯(4)的一个导电层(6)可形成电接触的接地单元(10)，其特征在于：接地单元(10)包括一个接触顶尖(15)，它可被这样地操作，即它可在实质上对放置在该保持装置中的光掩模坯(4)无侧向相对移动的情况下向下移动到光掩模坯上。
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