[发明专利]适合流体流通过结构布置的筛状结构无效
申请号: | 99807334.2 | 申请日: | 1999-03-31 |
公开(公告)号: | CN1305539A | 公开(公告)日: | 2001-07-25 |
发明(设计)人: | 迈克·J·达雷特;埃里恩·马丁·哈森坎普;杰弗里·R·马修雷克;丹尼斯·G·雷克斯;理查德·E·舒斯特 | 申请(专利权)人: | 英斯尼克系统公司 |
主分类号: | C23C16/00 | 分类号: | C23C16/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 过晓东 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明介绍一种适合流体流过一种结构布置的系统。具体地说是一种用于积木式气体系统的密闭系统。空气流进入外壳进气口(302a),然后穿过管道(313)流到安装平面的进气表面区(308)。空气流被引导通过安装平面,然后通过积木式气体系统(314)。从那里开始,空气流被引导在外壳内朝排气口(330a)流动。然后。空气进入俘获系统,该俘获系统能容纳任何可能逸出该气体系统的气体并且排出净化的空气。在替代实施方案中,所述的管道连接由该气体系统的出口表面区到排气口;由安装平面的出口表面区到排气口,以及由进气口到该气体系统的进气表面区。 | ||
搜索关键词: | 适合 流体 流通 结构 布置 | ||
【主权项】:
1.一种装置,所述装置包括:a)外壳;b)至少一个进气口,该进气口适合流体流入所述的外壳;c)至少一个排气口,该排气口适合所述流体流出所述外壳。d)密集的结构布置,所述的密集结构布置具有进气表面区和排气表面区;e)筛状结构,所述的筛状结构具有至少一个开口,所述的筛状结构具有进气表面区和排气表面区;以及f)管道,所述的管道把至少一个所述的排气口与所述筛状结构的排气表面区或所述密集结构布置的排气表面区连接起来,或者所述的管道把至少一个所述的进气口与所述密集结构布置的进气表面区或所述筛状结构的进气表面区连接起来。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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