[发明专利]多环共聚物组合物无效
| 申请号： | 99807961.8 | 申请日： | 1999-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN1307603A | 公开（公告）日： | 2001-08-08 |
| 发明（设计）人： | B·L·谷德尔;L·H·麦金托什三世 | 申请（专利权）人： | B·F·谷德里奇公司 |
| 主分类号： | C08F232/08 | 分类号： | C08F232/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 任宗华 |
| 地址： | 美国北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了含有由至少一种多环单体和至少一种丙烯酸单体聚合的重复单元的共聚物。所述共聚物通过在第Ⅷ族过渡金属催化剂存在下加聚形成。所述共聚物含有位于聚合物主链侧面的烃基和/或官能取代基。一实施方案中所述共聚物包含有酸不稳定基的侧酯取代基。所述共聚物适于用作对成像辐射敏感的光致抗蚀材料。 | ||
| 搜索关键词： | 共聚物 组合 | ||
【主权项】：
1.一种共聚物组合物，包括下式的重复单元：其中R1至R4独立地代表选自-(CH2)nC(O)OR5、-(CH2)n-C(O)OR5、-(CH2)n-OR5、-(CH2)n-OC(O)R5、-(CH2)n-C(O)R5、-(CH2)n-OC(O)OR5、和-(CH2)nC(O)OR6的基团，其中m代表0至5的整数，n独立地代表0至10的整数；R5独立地代表氢、线型和支化的(C1-C10)烷基、线型和支化的(C2-C10)链烯基、线型和支化的(C2-C10)炔基、(C5-C12)环烷基、(C6-C14)芳基、和(C7-C24)芳烷基，及其卤代取代基；R6代表酸不稳定部分；R8为氢或甲基；和R9独立地选自氢、酸不稳定基、线型和支化的(C1-C10)烷基、线型和支化的(C2-C10)链烯基、线型和支化的(C2-C10)炔基、(C5-C12)环烷基、(C6-C14)芳基、和(C7-C24)芳烷基；及其卤代取代基。
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