[发明专利]小珠处理卡盘的AC波形偏置无效
| 申请号： | 99809528.1 | 申请日： | 1999-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1121261C | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | H·C·孙;D·S·罗萨蒂;E·S·波利尼尔克;B·辛格;N·V·德赛 | 申请（专利权）人： | 德尔西斯药品公司 |
| 主分类号： | B01J19/08 | 分类号： | B01J19/08;B05D1/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 陈霁,陈景峻 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 小珠输送器卡盘的AC波形偏置及其专用于低电阻衬底和小珠的累积电荷检测电路，如果采用传统的DC准静态偏置电压，卡盘的小珠吸附电压就会经历急剧的RC衰减并且使小珠输送器卡盘停止工作。本发明提供了一种选择AC波形的方法，包括在小珠接触面的小珠收集区中使小珠吸附电压的时间平均值达到最大。 | ||
| 搜索关键词： | 小珠 处理 卡盘 ac 波形 偏置 | ||
【主权项】：
1.一种用于将带电颗粒吸附在一个小珠接触面上的小珠收集区上的静电卡盘，其特征是包括：一个小珠电极，用于为小珠收集区选择产生一个颗粒吸附电场，小珠电极的形状和结构是这样的，施加给它的AC波形电压会影响到颗粒，并且用小珠电极选择引导颗粒保持在小珠收集区上；以及一个按照程序提供AC波形电压的电子驱动器，为小珠收集区提供一个反复有效的颗粒吸附电场，AC波形电压包括一个颗粒吸附电压脉冲，随后是一个恢复周期，其中恢复周期适于在，如果小珠收集区是被设在一个电阻率低于1011Ω-cm的衬底上，在小珠收集区上的有效颗粒吸附电场下产生一个颗粒吸附电压脉冲激励，其中AC波形电压的频率不高于100Hz。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于德尔西斯药品公司，未经德尔西斯药品公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/99809528.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
