[发明专利]高分辨分析探测台

摘要

一种用于使用电子显微镜(SEM)通过电测试信号在集成电路样品上探测的方法和系统,其中设置电子显微镜用于观察样品(50)上暴露导电端子的表面。设置托盘为扫描电子显微镜(10)支撑样品(50),同时,计算机从扫描电子显微镜(12)获得确定样品(50)的表面的导电路径标记的图像。由计算机遥控的电动操纵器操纵多个探针(24),它们能够在样品(50)的表面上定位,以在容纳了扫描电子显微镜(12)、托盘(25)、电动操纵器和用于在真空中分析样品(50)的多个探针(24)的真空室内壳(27)内传送电测试信号。真空室(27)上的馈电导体将电信号从计算机耦合到电动操纵器和多个探针(24)。

主权项

1．一种将电测试信号提供给集成电路样品的探测台系统，其特征在于包含：平台装置，用于将观察样品暴露导电端子的表面的扫描电子显微镜安置在样品上；台阶装置，用于为扫描电子显微镜支撑样品；成象装置，用于从扫描电子显微镜获得确定样品表面传导通路标记的图像；探针控制装置，用于通过所述装置遥控多个探针，以获得图像，而传送可以在样品表面上定位的电测试信号；真空室装置，用于在具有容纳样品的内壳的室内产生真空；和馈电导体装置，用于通过真空室上的馈电导体，将来自所述获得图像装置的电信号耦合到所述遥控多个探针的装置，所述成象装置与所述探针控制装置通信，以遥控多个探针而将电测试信号施加给样品上的端子，其中使月获得的图像，从使用扫描电子显微镜观察到的样品的表面的传导通路标记确定导电端子。