[发明专利]等离子体增强的真空汽相淀积系统,包括使固体蒸发,产生电弧放电,以及测量电离和蒸发的系统无效
| 申请号： | 99810350.0 | 申请日： | 1999-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN1348509A | 公开（公告）日： | 2002-05-08 |
| 发明（设计）人： | 乔治·普利斯特;霍斯特·艾利克 | 申请（专利权）人： | 可口可乐公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/32;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 美国佐*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于真空汽相淀积敷层的设备和方法,提供较简单、经济和连续的操作。一种用于连续地熔化和蒸发固体材料,以形成敷层蒸气的系统和方法,包括使用分开的熔化坩埚和蒸发坩埚。一种用于激励蒸发固体,以形成等离子体的系统和方法,包括第一和第二电极,以及一个用于选择地在第一与第二电极之间转换极性,以避免在电极上的敷层汽相淀积的装置。另一种用于激励蒸发固体,以形成等离子体的系统和方法,包括一个电弧放电设备,它具有一个阴极和一个阳极部分。公开一种连续供给电极,用于电弧放电下电极部件的连续蒸发。一种设备和方法,提供在汽相淀积系统中测量蒸发器的蒸发速度和电离度。最后,公开一种系统,以就地清洁蒸发淀积,以清洁真空汽相淀积系统的壳体。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 增强 真空 汽相淀积 系统 包括 固体 蒸发 产生 电弧 放电 以及 测量 电离 | ||
【主权项】：
1.一种用于连续地熔化和蒸发固体材料的系统，包括：一个熔化坩埚，用于接收和熔化固体材料，以形成熔化材料；和一个蒸发坩埚，用于蒸发熔化材料，该蒸发坩埚与熔化坩埚流通地连接到熔化坩埚，以从熔化坩埚接收熔化材料，并且具有一个开口，以随着熔化材料蒸发，用于释放蒸气。
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