[发明专利]半导体基材的抛光垫无效
申请号: | 99810562.7 | 申请日: | 1999-07-08 |
公开(公告)号: | CN1316940A | 公开(公告)日: | 2001-10-10 |
发明(设计)人: | 斯利拉姆·P·安朱;罗兰·K·塞维拉;弗兰克·B·考夫曼 | 申请(专利权)人: | 卡伯特微电子公司 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;B24D3/32;B24D13/14 |
代理公司: | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人: | 宋莉 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了用于半导体基材的抛光垫。 | ||
搜索关键词: | 半导体 基材 抛光 | ||
【主权项】:
1.一种包括烧结热塑性树脂颗粒的抛光垫基材,其中所述抛光垫基材的平均孔尺寸为约5微米至约100微米。
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