[发明专利]用溶胶－凝胶技术制备硅石或硅石系厚玻璃膜的方法及所得厚膜无效
| 申请号： | 99810771.9 | 申请日： | 1999-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN1316975A | 公开（公告）日： | 2001-10-10 |
| 发明（设计）人： | 洛伦佐·科斯塔;彼尔·保罗·科斯塔;斯特凡尼亚·格兰迪 | 申请（专利权）人： | 诺瓦拉技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/12 | 分类号： | C01B33/12;C23C18/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 意大利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在基体上制备氧化硅或氧化硅系混合氧化物玻璃膜的溶胶－凝胶方法，所得膜的厚度大于1微米，通常在2～20微米之间，其特点是不存在缺陷，而且证明特别适于作为平面光学设备的波导管。 | ||
| 搜索关键词： | 溶胶 凝胶 技术 制备 硅石 玻璃 方法 所得 | ||
【主权项】：
1、一种按照溶胶-凝胶技术制备氧化硅或氧化硅系厚玻璃膜的方法，包括如下阶段：·制备一种包含至少一种可溶性前体物的溶胶，该前体物为至少一种选自Si、Ge、C、Sn、Pb、P、As、Sb、B、Al、Ga、Bi、Ti、Zr、S和Hf中元素的物质，其中，可溶性硅前体物和任何其它可溶性前体物的摩尔比至少为1∶1；在所说的溶胶中，相对于每摩尔所说的至少一种可溶性前体物，含有至少10摩尔H2O，还含有能使所说的至少一种可溶性前体物水解的酸，所说的酸的浓度在0.03～0.5N之间；·使所说的可溶性前体物完全水解；·相对于每摩尔所说的至少一种可溶性前体物，在上述溶胶中加入约0.7至约3.0摩尔的SiO2；·在基体上形成溶胶膜；·蒸发溶剂，使所述溶胶发生胶凝化；·通过热处理使所得的凝胶膜致密化。
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