[发明专利]电光调制器无效
申请号: | 99812069.3 | 申请日: | 1999-08-02 |
公开(公告)号: | CN1323403A | 公开(公告)日: | 2001-11-21 |
发明(设计)人: | E·J·C·道内 | 申请(专利权)人: | 布克哈姆技术公共有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 罗朋,李亚非 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述了用于凸脊波导(10)周边的掺杂剂基片(12),以控制波导材料的折射率。替代从邻近波导(10)的基片(12)的表面简单地进行掺杂剂扩散,从蚀刻区域(28,30)的侧面蚀刻基片区域且扩散掺杂剂。因此,从水平方向确立了允许进行控制的掺杂剂分布。因此,可以提供简单的垂直均匀掺杂分布(12),产生了垂直均匀的电流密度,或在初始蚀刻后施加各向异性的湿蚀刻以提供将电流密度集中在基片的选定高度的分布(36)。 | ||
搜索关键词: | 电光 调制器 | ||
【主权项】:
1、一种电光器件,它包括一由含有掺杂剂的平板基片环绕在两侧的凸脊波导,用以形成一穿过该波导的导电通路,该掺杂剂在基片中沿垂直方向具有基本上均匀的分布。
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