[发明专利]检测物体的方法和装置有效
| 申请号： | 99815593.4 | 申请日： | 1999-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1333869A | 公开（公告）日： | 2002-01-30 |
| 发明（设计）人： | 古纳·伯斯特罗姆;马蒂尔斯·约翰内森;西蒙·桑德格伦;汉斯·埃赫伦 | 申请（专利权）人： | 麦戴塔自动控制股份公司 |
| 主分类号： | G01B11/04 | 分类号： | G01B11/04;G01N21/89 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用一种检测装置,在衬底和检测装置相对运动的条件下,对衬底上的物体进行无接触检测的方法。该方法包含以下步骤用第一辐射装置照射至少一部分衬底,衬底上包含一个或更多的物体,使被所述第一辐射装置照射的所述一个或更多的物体中至少一个物体成象于一个二维阵列传感器装置上,该装置具有分部可寻址的象素阵列,从而产生包含物体高度信息的第一个象;用第二辐射装置照射至少一部分衬底,衬底上包含一个或更多的物体,使被所述第二辐射装置照射的所述一个或更多的物体中至少一个物体成象于所述传感器上,从而产生包含物体面积信息的第二个象;用所述传感器装置,从所述第一个象,提取物体高度信息;用所述传感器装置,从所述第二个象,提取物体面积信息。本发明还涉及实现本方法的一种装置。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 物体 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.用一种检测装置，在衬底和检测装置相对运动的条件下，无接触地检测衬底上物体的一种方法，它以如下步骤作为其特征：-用第一辐射装置照射至少一部分衬底，衬底上包含一个或更多的物体，使被所述第一辐射装置照射的所述一个或更多的物体中至少一个物体成象于一个二维阵列传感器装置上，该装置具有分部可寻址的象素阵列，从而产生包含物体高度信息的第一个象；-用第二辐射装置照射至少一部分衬底，衬底上包含一个或更多的物体，使被所述第二辐射装置照射的所述一个或更多的物体中至少一个物体成象于所述传感器装置上，从而产生包含物体面积信息的第二个象；-用所述传感器装置，从所述第一个象，提取物体高度信息；以及-用所述传感器装置，从所述第二个象，提取物体面积信息。
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