[发明专利]双稳态微动开关及其制造方法

摘要

本发明提供一种使用一种形状记忆合金的双稳态开关、和一种用来制造它的方法。更具体地说,该双稳态开关包括一个基片,带有至少一个电源;一个可弯曲片,带有一个固定到基片上的第一远端;一个桥触点,形成在可弯曲片的一个第二和相对远端处;及至少一个热致动元件,连接到可弯曲片的一个第一表面上并且在第二远端与电源之间。在操作期间,从电源通过热致动元件的电流间接弯曲可弯曲片,并且借助于一个可持续力短路在基片上的信号触点。

主权项

1.一种用来制造一种双稳态开关的过程，包括：提供一个可弯曲片；把所述片形成图案，以定义一种具有一个末端区域和一个尾部区域及一个前侧和一个后侧的梁结构；形成一个与所述可弯曲片尾部区域相邻的第一控制触点；把一个致动器元件联接到所述梁的所述前侧；在所述控制触点与同所述可弯曲片的所述末端区域相邻的所述致动器元件的一个第一端之间形成一条导电路径；在与所述可弯曲片尾部区域相邻的所述致动器元件的一个第二端处形成一个第二控制触点；在所述可弯曲片末端区域的第一远端处形成一个桥触点；及把所述可弯曲片尾部区域的一部分安装到一个基片上以把所述第一和第二控制触点联接到所述基片的一个电源上，所述桥触点与至少一个信号触点相邻和与其隔开。