[发明专利]图案缺陷检测方法

权利要求书

1.一种图案缺陷检测方法，预先登记正品图案，并对输入的对象图案和正品图案进行比较，其特征在于，

比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案。

2.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含4个以上接点的场合，检测这种缺陷图案作为“本来应该离开的图案而结合的缺陷”。

3.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含4个以上接点的场合，检测这种缺陷图案作为“本来应该结合的图案而离开的缺陷”。

4.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案1个接点也不包含的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案不应该存在的区域内，图案孤立存在的缺陷”。

5.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案1个接点也不包含的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案应该存在的区域内，图案以外的区域孤立存在的缺陷”。

6.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含2个接点的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案不存在的区域内，图案的一部分突出存在的缺陷”。

7.如权利要求1所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含2个接点的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案存在的区域内，图案以外的区域突出存在的缺陷”。

8.如权利要求1至7任一项所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

图案是电路图案。

9.如权利要求1至7任一项所述的图案缺陷检测方法，其特征在于，

图案是半导体图案。

10.一种图案缺陷检测装置，其特征在于，包括

用如权利要求1至9任一项所述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手段。

11.一种图案缺陷检查修复装置，其特征在于，包括

用如权利要求1至9任一项所述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手段，和修复检测出的缺陷的修复手段。

12.一种图案缺陷检查修复方法，其特征在于，包括

用如权利要求1至9任一项所述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷，并修复检测出的缺陷。