[发明专利]图案缺陷检测方法

说明书

本发明涉及在半导体、印刷电路板、液晶、PDP等的布线图案，印刷、盖章图案等的图案检查中，对缺陷进行分类检测的图案缺陷检测方法和检查装置以及检查修复装置。

以往，作为检测图案上缺陷的方法，已知的有如图16所示的利用图像处理检测图案的线宽和图案的间隔，检测布线规则上没有的图案的设计规则检查(DRC)法，和如图17所示的对预先登记的正品的图像和输入的对象的图像进行比较，检测其不同的部分作为缺陷图案的比较法。

但是，在DRC法中，有如图18所示，不能检测布线上允许的缺陷，和如图19所示，将违反布线规则的正常图案作为次品检测的问题。

此外，在比较法中，有如图20所示，因不能与噪声干扰区别而不能检测微小缺陷的问题。

本发明鉴于前述以往的问题，其目的在于提供能对各种图案缺陷进行分类并能确切地进行检测的图案缺陷检测方法。

本发明的图案缺陷检测方法，是在预先登记正品图案，并对输入的对象图案和正品图案进行比较的图案缺陷检测方法中，

比较正品图案和对象图案，检测在正品图案和对象图案中有差异的图案作为缺陷图案，并利用缺陷图案的轮廓线特征，分类检测缺陷图案，

能确切地分类检测各种图案缺陷，例如短路，断线，残留图案，图案脱离，突起、粗，缺口、细，等。

具体地说，本发明的图案缺陷检测方法，

以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含4个以上接点的场合，分类检测这种缺陷图案作为“本来应该离开的图案而结合的缺陷”。

此外，本发明的图案缺陷检测方法，

以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含4个以上接点的场合，分类检测这种缺陷图案作为“本来应该结合的图案而离开的缺陷”。

此外，本发明的图案缺陷检测方法，

以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案1个接点也不包含的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案不应该存在的区域内，图案孤立存在的缺陷”。

此外，本发明的图案缺陷检测方法，

以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案1个接点也不包含的场合，分类检测这种缺陷图案作为“在本来图案应该存在的区域内，图案以外的区域孤立存在的缺陷”。

此外，本发明的图案缺陷检测方法，

以正品图案存在的区域为A，以对象图案存在的区域为B，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含2个接点的场合，分类检测这种缺陷图案作为“在本来图案不存在的区域内，图案的一部分突出存在的缺陷”。

此外，本发明的图案缺陷检测方法，

以正品图案存在的区域为B，以对象图案存在的区域为A，

检测在B轮廓线上并且与A不重叠的点，在这种点没有与同样的点2点以上连接的场合，作为接点进行检测，

检测在B上并且与A不重叠的一连续区域作为缺陷图案，

在缺陷图案包含2个接点的场合，检测这种缺陷图案作为“在本来图案存在的区域内，图案以外的区域突出存在的缺陷”。

此外，前述的图案缺陷检测方法，能很好地适用于

图案是电路图案的场合，和图案是半导体图案的场合。

此外，本发明的图案缺陷检测装置，包括

用前述各图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手段，执行这些方法能得到相应的效果。

此外，本发明的图案缺陷检查修复装置，包括

用前述的图案缺陷检测方法，检测图案缺陷的手段，和修复检测出的缺陷的修复手段，