[发明专利]铟锡氧化物薄膜溶胶—凝胶制备方法

权利要求书

1.一种铟锡氧化物薄膜溶胶-凝胶制备方法，其特征是：采用铟的酯化产物铟醇盐，锡的酯化产物锡醇盐为原料，按摩尔比铟比锡为9∶1的比例，将铟醇盐和锡醇盐溶入溶剂中，加入稳定剂调整铟醇盐和锡醇盐的反应活性，加入水使之产生水解反应，得到的混合液在40～80℃陈化4～8小时后得到可用于镀膜的溶胶，将经过清洁处理的基片浸入溶胶，再以1～20cm/min的速度平稳提拉出液面，浸提后的基片经干燥固化处理后，得到透明导电的铟锡氧化物薄膜产品，稳定剂为二元醇、乙酸或β-二酮盐，每摩尔铟醇盐需加入稳定剂1～4摩尔。

2.根据权利要求1所述的铟锡氧化物薄膜溶胶-凝胶制备方法，其特征是：所用铟醇盐是氯化铟和一元醇反应后的酯化产物甲醇铟、乙醇铟、异丙醇铟、丁醇铟中的一种，所用锡醇盐是氯化锡和一元醇反应后的酯化产物乙醇锡、丙醇锡、正丁醇锡中的一种。

3.根据权利要求1所述的铟锡氧化物薄膜溶胶-凝胶制备方法，其特征是：所用溶剂为无水一元低级醇乙醇、异丙醇、丁醇之一，溶液浓度为重量百分比5～20％。

4.根据权利要求1所述的铟锡氧化物薄膜溶胶-凝胶制备方法，其特征是：加水量为每摩尔铟醇盐3～6摩尔。

5.根据权利要求1所述的铟锡氧化物薄膜溶胶-凝胶制备方法，其特征是：浸提后的基片在300～800℃干燥。

6.根据权利要求1所述的铟锡氧化物薄膜溶胶-凝胶制备方法，其特征是：基片是玻璃、陶瓷、聚合物。