[发明专利]光记录媒体的制造方法和制造装置无效
申请号: | 00122554.5 | 申请日: | 2000-08-03 |
公开(公告)号: | CN1282954A | 公开(公告)日: | 2001-02-07 |
发明(设计)人: | 增原慎;安芸祐一;山本健二 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | G11B7/00 | 分类号: | G11B7/00;G11B7/26;G11B7/135 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 李家麟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 记录 媒体 制造 方法 装置 | ||
本发明涉及光信息记录媒体的制造方法及光信息记录媒体的制造装置,例如可用于作为原始(base)光盘的光照射装置。本发明通过补偿色差和补偿波长的起伏来调整半导体激光束的温度以致可以用从激光激励半导体激光器来的激光束以高精度照射原始盘。
在制造原始盘的现有技术过程中,在照射装置中对光盘照射之后,通过压模(stamp)来制造光盘。压模进一步大批量地生产原始盘,并在原始盘上形成保护膜之后制造出了光盘。
在图8中示出了光盘的透视图。在原始盘2上形成信息记录表面之后,形成保护膜4以制造光盘1。
原始盘2是透明塑料的盘状部件。在该原始盘2的信息记录表面一侧形成细小凹凸不平(凸出和凹入形状)。根据光盘的制造,将这些细小凹凸不平设置成各种形状。在诸如原始微型盘之类的光盘的记录和再现中,通过激光束来形成凹槽形状,以构成如在图8的放大视图中箭头A所指出的引导凹槽。在诸如小型光盘之类的单用于再现的光盘中,形成凹入形状以构成如在图8的放大视图中箭头B所指出的凹坑。在按照ISO标准制成的原始M0(磁光)盘中,形成凹坑和凹槽两者。
在能够记录和再现的光盘1之中,相位-改变光盘具有由相位-改变层和反射层叠层形成的信息记录表面,这是在用这些细小凹凸不平形成的原始盘2的表面上形成的。在磁光盘上,由磁层和反射层的叠层形成信息记录表面。在单用于再现(重放)的光盘1上,由在盘衬底2的表面上的反射层形成信息记录表面。
在图9A到9F中示出用于制造盘衬底2的光盘制造过程的示意图。在该光盘制造过程中,将玻璃衬底5的表面磨平(抛光),清洗玻璃衬底5(图9A),并在玻璃衬底5的表面通过旋转涂复(图9B)施加感光剂6。这里施加的感光剂的厚度约为100nm,当暴露在光中时使用碱性可溶性材料。光盘的这种制造方法从玻璃衬底5产生原始盘7。
其次,在光盘制造过程中,在曝光装置中设置原始盘7并驱动原始盘7使之以特定的速度旋转(图9C)。当在该状态时,借助物镜6使作为照射光的激光束L1聚焦在原始盘7上的感光剂6上,并同时借助调制信号调制照射激光束L1,照射激光束L1的位置顺序地向外圆周偏移。这样,在光盘制造过程中使照射激光束L1的扫描轨迹形成螺旋形的形状,并根据在该扫描轨迹中的调制信号形成潜象。
这样,在光盘制造过程中使在原始盘7上形成的潜象显影(图9D),显影液使光所照射的感光剂6部分溶化。这样,在原始盘7的表面形成细小凹凸不平。在图9D中的例子示出用相应于凹槽和槽脊(land)的细小凹凸不平来形成原始盘7。
在制造光盘过程的下一个步骤中(图9E),通过在细小凹凸不平的一侧镀镍(Ni)形成镀镍层8之后,然后从原始盘7剥去该镀镍层。这样,在光盘制造过程中,原始盘7上的细小凹凸不平就转移到镀镍层上,然后将镀镍层8做成的框架放置在金属模中以制造压模9。
其次,在光盘制造过程中,用注塑模或用使用压模9的所谓的2P方法(光聚合反应)来制造盘衬底2(图9F)。现在,转移到压模9的原始盘7的细小凹凸不平转移到了盘衬底2。这样,通过在曝光装置中使原始盘7曝光而在盘衬底2上形成图8所描述的细小凹凸不平的潜象。
在图10中示出原始盘7曝光中使用的曝光装置的平面图。在图11中示出描述曝光装置11的光学系统的示意图。曝光装置11包含在受驱动以箭头A所示的指定方向旋转的转台12上的原始盘7。如箭头B所示,曝光装置11驱动光学驱动台13径向地越过原始盘7。这样,借助包含在光学驱动台13中的光学系统,曝光装置11使照射激光束(LR)在原始盘7上形成螺旋形的扫描轨迹,并形成包括在扫描轨迹中的凹坑阵列的潜象。
在曝光装置11中的激光光源14是包括Ar、Kr、He-Cd等的气体激光器。(照射)激光束LR是在500nm波长范围内照射,并具有50mW的光通量以使在原始盘7上的感光剂对光曝光。当激光光源14是Kr激光器时,(照射)激光束LR在413nm波长范围内照射。
电光晶体元件15和光检测器元件16补偿(偏移)在(照射)激光束LR中的光能量的起伏并辐射光束。换言之,电光晶体元件15改变由激光光源14辐射的(照射)激光束LR的偏振面,以及光检测器元件16选择性地透射指定的极化平面的分量。其次,光束分离器17使(照射)激光束LR分成两个光束并输出这些光束,而光接收元件18接收在光束分离器透射一侧上的(照射)激光束LR并输出检测到的光通量(光能量)。
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