[发明专利]半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法

说明书

本发明涉及半导体工厂自动化(FA)系统，特别涉及半导体FA系统及传送半导体晶片的方法。

通常，常规的半导体工厂自动化(FA)系统自动地处理半导体晶片。常规的半导体FA系统包括工艺设备、储料器和自动制导运输车(AGV)。工艺设备对半导体晶片实施半导体工艺。储料器将要处理的半导体晶片送入工艺设备中。此外，储料器装载已在工艺设备中处理的半导体晶片。AGV将半导体晶片由一个工艺设备传送到另一工艺设备。此外，AGV将半导体晶片由储料器传送到工艺设备。此后，AGV将半导体晶片由工艺设备传送到储料器。

当在工艺设备中处理的半导体晶片通过AGV传送到另一工艺设备时，AGV和另一工艺设备顺序启动。即，AGV启动之后，另一工艺设备启动。因此，当AGV和另一工艺设备顺序启动时，需要花费很多时间通过AGV将半导体晶片由一个工艺设备传送到另一工艺设备。

类似地，当在装入储料器的半导体晶片通过AGV传送到工艺设备时，AGV和工艺设备顺序启动。即，AGV启动之后，工艺设备启动。因此，当AGV和工艺设备顺序启动时，需要花费很多时间通过AGV将半导体晶片由储料器传送到工艺设备。

类似地，当在工艺设备中处理的半导体晶片通过AGV传送到储料器时，AGV和储料器顺序启动。即，AGV启动之后，储料器启动。因此，当AGV和储料器顺序启动时，需要花费很多时间通过AGV将半导体晶片由工艺设备传送到储料器。

由此，存在常规的半导体FA系统增加了由AGV传送半导体晶片需要的时间的问题。

因此，本发明的一个目的是提供一种半导体FA系统以及传送半导体晶片的方法，能减少传送半导体晶片需要的时间。

因此，本发明的另一个目的是提供一种存储程序指令的计算机可读的介质，程序指令设置在计算机上进行能减少传送半导体晶片需要时间的传送半导体晶片的方法。

根据本发明的一个方案，提供一种半导体工厂自动化(FA)系统，包括：一条公共通信线；多个工艺设备，处理容纳在一个半导体晶片盒中的一批半导体晶片，当其中一个所述工艺设备处理完这批半导体晶片时，这个工艺设备发出盒传送请求；指令产生装置，连接到所述公用通信线，响应于盒传送请求产生传送指令；传送控制装置，连接到所述公用通信线，响应于传送指令控制半导体晶片盒的传送；多个传送半导体晶片盒的传送装置，其中通过所述传送控制装置控制所述传送装置；以及多个储料装置，连接到所述传送控制装置，用于装载半导体晶片盒，其中如果半导体晶片盒通过所述传送装置之一由所述工艺设备之一传送到所述储料装置之一，则通过将传送指令同时发送到这个传送装置和这个储料装置，所述传送控制装置同时启动这个传送装置和这个储料装置。

根据本发明的另一方案，提供一种在半导体工厂自动化系统中传送半导体晶片的方法，包括以下步骤：a)在工艺设备中处理容纳在半导体晶片盒中的一批半导体晶片；b)当工艺设备处理完该批半导体晶片时，将盒传送请求由工艺设备发送到单元管理服务器；c)响应于盒传送请求产生一传送指令；以及d)如果半导体晶片盒通过自动制导的运输车(AGV)由该工艺设备传送到一储料器，则通过将传送指令同时发送到AGV和储料器同时启动AGV和储料器。

根据本发明的再一方案，提供一种存储程序指令的计算机可读的介质，该程序指令设置在计算机上进行在半导体工厂自动化系统中传送半导体晶片的方法，包括以下步骤：a)在一工艺设备中处理容纳在一半导体晶片盒中的一批半导体晶片；b)当工艺设备处理完这批半导体晶片时，将盒传送请求由工艺设备发送到单元管理服务器；c)响应于盒传送请求产生一传送指令；以及d)如果半导体晶片盒通过自动制导的运输车(AGV)由该工艺设备传送到一储料器，则通过将传送指令同时发送到AGV和储料器同时启动AGV和储料器。

从下面结合附图对优选实施例的说明中，本发明的以上和其它目的和特点将变得很显然，其中：

图1A为根据本发明示出了半导体工厂自动化(FA)系统的方框图；

图1B示出了图1A所示传送控制部分的方框图；

图2画出了图1A所示由操作者接口服务器(OIS)提供的操作者接口屏幕；

图3画出了图1A所示由操作者接口服务器(OIS)提供的另一操作者接口屏幕；

图4示出了根据本发明传送半导体晶片盒的方法流程图；

图5到16示出了图4所示将半导体晶片盒由一个EQ传送到另一EQ的过程流程图；

图17到20示出了图4所示将半导体晶片盒由EQ传送到储料器的过程流程图；