[发明专利]一种半导体封装用的液体环氧组合物及其用途无效

专利信息
申请号: 00123621.0 申请日: 2000-08-25
公开(公告)号: CN1282105A 公开(公告)日: 2001-01-31
发明(设计)人: 王忠刚;谢美然;陶志强 申请(专利权)人: 中国科学院化学研究所
主分类号: H01L23/29 分类号: H01L23/29;C08L63/00;C09K3/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 胡交宇
地址: 100080 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 封装 液体 组合 及其 用途
【说明书】:

发明涉及一种环氧树脂组合物,特别涉及一种半导体封装用的液体环氧树脂组合物。

由于无线通讯、便携式计算机等电子产品的需求,集成电路日益向小、轻、薄方向发展,封装的密度越来越高。适应这种发展趋势,集成电路的封装形式正从传统的双列直插型(DIP)和四边扁平式(QFP)式封装,向倒装芯片球栅阵列(FC-PBGA)、芯片尺寸级(CSP)、直接芯片粘接(DCA)以及多芯片模块(MCM)等变化。这些新的封装形式所采用的材料大多是液体环氧封装材料。

新型液体环氧封装料的主要性能要求是低粘度和良好的流动性,尤其是对于FC-PBGA形式的封装,它是将液体环氧封装料灌封在芯片与基板之间,再加热固化成型。由于芯片与基板之间的间隙只有几十个微米,因此对FC-PBGA用封装料常温下的粘度有很高的要求。另外,由于芯片的热膨胀系数为3ppm/℃,而基板的热膨胀系数约为30ppm/℃,热膨胀系数的不匹配会导致升降温过程中连接的焊点开裂,因此,除了低粘度以外,还要求封装料具有高的玻璃化转变温度、低的热膨胀系数、优良的力学性能和抗开裂性能以及低吸水率等特点。

一般液体环氧树脂固化后产物的热膨胀系数在60 ppm/℃,为了降低热膨胀系数,需要向里面添加无机填充物,但无机物的填加将导致液体环氧树脂的粘度迅速升高,因此粘度与热膨胀系数的矛盾很难解决。USPatent 5,616,633公开了一种半导体用液体环氧封装料的制备方法,由于它采用双酚A型环氧作为主要成分,制备的液体环氧组合物常温下粘度很高,流动性较差,玻璃化温度较低和热膨胀系数较高;JP05287055、JP04314721和JP56131619也公开了液体环氧组合物的制备方法,但它们所制组合物中没有填加无机填料,导致固化后产物的热膨胀系数较高,并且JP05287055、JP04314721采用紫外光或x射线固化,在半导体封装的工艺上带来了不便。另外JP56131619还加入了稀释剂或溶剂以降低粘度,但稀释剂的加入导致了热学和力学等综合性能的下降。

本发明的目的在于克服粘度高,流动性差,玻璃化温度低和热膨胀系数高的不足,提供一种具有低粘度、高流动性、低热膨胀、高玻璃化温度以及良好的韧性等优异综合性能的液体环氧组合物。

本发明的另一个目的在于提供该液体环氧组合物在FC-PBGA、DCA、MCM和CSP等形式半导体封装应用。

本发明的半导体封装用的液体环氧树脂组合物,包括重量份数100份的液体环氧树脂,65-165份的酸酐固化剂,0.5-5.0份的固化促进剂,0.3-1.0份的硅烷偶联剂,和380-950份的无机填料。

本发明采用25℃-45℃的液体环氧树脂包括脂环类环氧树脂如3,4-环氧环己烷羧酸3,4-环氧环己基甲基酯、脂肪-脂环类环氧树脂如4,5-环氧己烷-1,2二甲酸二缩水甘油酯、双酚A型二缩水甘油醚、双酚F型二缩水甘油醚、萘型环氧树脂、1,6己二醇二缩水甘油醚、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚和苯基缩水甘油醚。以上环氧树脂可以单独使用或以两种或多种的混合物使用。从低粘度和高玻璃化转变温度的观点出发,在这些环氧树脂中,优选使用脂环类环氧树脂和脂肪-脂环类环氧树脂。液体环氧树脂加入3,4-环氧环己烷羧酸3,4-环氧环己基甲基酯或4,5-环氧己烷-1,2二甲酸二缩水甘油酯后,可增加固化产物的韧性。

上述脂环类环氧树脂3,4-环氧环己烷羧酸3,4-环氧环己基甲基酯(Ⅰ)结构式如下:

上述脂肪-脂环类环氧树脂4,5-环氧己烷-1,2二甲酸二缩水甘油酯(Ⅱ)结构式如下:

上述的液体环氧树脂可以为3,4-环氧环己烷羧酸3,4-环氧环己基甲基酯(Ⅰ)和4,5-环氧己烷-1,2二甲酸二缩水甘油酯(Ⅱ),二者可单独使用,也可两种混合使用,混合使用时(Ⅰ)的重量份数为10-90,(Ⅱ)的重量份数为10-90。

上述的液体环氧树脂可以为3,4-环氧环己烷羧酸3,4-环氧环己基甲基酯(Ⅰ)和/或4,5-环氧己烷-1,2二甲酸二缩水甘油酯(Ⅱ)与双酚A二缩水甘油醚(Ⅲ)和/或双酚F二缩水甘油醚(Ⅳ)的混合物,其中(Ⅰ)和/或(Ⅱ)重量份数为60-90,优选为75-85;(Ⅲ)和/或(Ⅳ)重量份数为10-40,优选为15-25。

上述的双酚A二缩水甘油醚的结构式如下:上述的双酚F二缩水甘油醚的结构式如下:

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