[发明专利]磁头滑块的制造和固定方法

权利要求书

1．一种为了对棒的预定表面进行加工而将各自包括至少一个磁头滑块的细长棒固定在一个预定的支撑件上的方法，包括以下步骤：

沿着一个预定的参考平面布置多个其表面需要加工的棒；并且

将布置步骤中布置的多个棒载送到支撑件上，同时保持棒的相对位置，

其中的布置步骤包括将多个棒中的每个棒定位在一个与参考平面平行的平面上。

2．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是待加工的棒的表面是对应着一个空气轴承表面的表面，该空气轴承表面是面对着记录媒体的磁头滑块表面。

3．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是上述加工包括采用光刻的加工。

4．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是，在载送步骤中，利用与多个棒的待加工面相反的表面和支撑件之间的粘合剂将多个棒固定在该支撑件上。

5．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是布置步骤中包括以下步骤：

用一个具有用来确定参考平面的表面的参考件使待加工的多个棒的表面直接接触到参考平面；并且

用参考件保持住多个棒。

6．按照权利要求5的固定棒的方法，其特征是参考件装备有吸取装置，并且在保持步骤中用吸取装置保持多个棒。

7．按照权利要求5的固定棒的方法，其特征是载送步骤中进一步包括以下步骤：

在支撑件上施加一种粘合剂；

使与被参考件保持住的多个棒的待加工面相反的表面接触到粘合剂；并且

在粘合剂凝固之后将参考件与多个棒分开。

8．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是，在布置步骤中用一个能够在平行于参考平面的平面上相对于参考平面移动的载架一个接一个地载送多个棒。

9．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是在布置步骤中使多个棒中的每个棒在平行于参考平面的一个平面上定位，同时观测设在每个棒上的预定的标记。

10．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是进一步包括在布置步骤之前在棒上除了待加工面之外的至少一个表面上形成一个保护膜的步骤。

11．按照权利要求1的固定棒的方法，其特征是多个棒包括具有不同长度的多种类型的棒。

12．一种制造磁头滑块的方法，包括以下步骤：

在预定的底座上形成薄膜磁头器件；

将基座切割成多个棒，每个棒包括至少一个磁头滑块，在磁头滑块上形成薄膜磁头器件；

沿着一个预定的参考平面布置该多个棒的待加工面；

将布置步骤中布置的多个棒移动并载送到一个预定的支撑件上，同时保持棒与棒的相对位置；

对由支撑件支撑着的多个棒的待加工面执行一种预定的加工；并且

通过对棒的切割将每个棒分离成磁头滑块，

其中的布置步骤包括在一个平行于参考平面的平面上将多个棒各自定位。

13．按照权利要求12的制造磁头滑块的方法，其特征是棒的预定表面是一个对应着一空气轴承表面的表面，该空气轴承表面是面对着记录媒体的磁头滑块表面。

14．按照权利要求12的制造磁头滑块的方法，其特征是上述加工包括采用光刻的加工。

15．按照权利要求12的制造磁头滑块的方法，其特征是，在载送步骤中，在与多个棒的待加工面相反的表面和支撑件之间放置一种粘合剂。

16．按照权利要求12的制造磁头滑块的方法，其特征是布置步骤中包括以下步骤：

用一个具有用来确定参考平面的表面的参考件使待加工的多个棒的表面直接接触到参考平面；并且

用参考件保持住多个棒。

17．按照权利要求16的制造磁头滑块的方法，其特征是参考件装备有吸取装置，并且在保持步骤中用吸取装置保持多个棒。

18．按照权利要求16的制造磁头滑块的方法，其特征是载送步骤中进一步包括以下步骤：

在支撑件上施加一种粘合剂；

使与被参考件保持住的多个棒的待加工面相反的表面接触到粘合剂；并且

在粘合剂凝固之后将参考件与多个棒分开。