[发明专利]带有包含可修整电容器的薄膜电路的模块

权利要求书

1、一种带有位于绝缘材料的衬底(1)上的薄膜电路的模块，包括至少一个无源元件，它具有至少第一(2)和第二导电层(4)和一介质层(3)，其中至少一个导电层(2、4)具有带凹口的构造表面，

一保护层(5)，和

至少一个穿过模块的接触孔(6)，和

一个覆盖模块和接触孔(6)的构造的金属层。

2、根据权利要求1的带有薄膜电路的模块，特征在于所述凹口具有相互不同的宽度。

3、根据权利要求1的带有薄膜电路的模块，特征在于所述凹口具有相互不同的间距。

4、一种带有根据权利要求1的元件的薄膜电路，特征在于所述第一导电层(2)和第二导电层(4)包括Cu、Al、掺Cu的Al、掺Mg的Al、掺Si的Al或掺Si和Cu的Al。

5、一种细调无源元件的电容值的方法，所述无源元件包括至少第一(2)和第二(4)导电层以及介质层(3)，且其中至少一个导电层(2、4)具有带凹口的构造表面，

在一模块中提供有带一保护层(5)、位于绝缘材料的衬底(1)上的薄膜电路，和

提供至少一个穿过模块的接触孔(6)，和

提供一个覆盖模块和接触孔(6)的构造的金属层，

在所述方法中通过聚焦的激光照射在至少一个导电层(2、4)上获得加热效应，蒸发导电层(2、4)的一些部分。