[发明专利]在媒体相对面上设置有凸部的磁头滑动块和其制造方法

说明书

本发明涉及按照微小间距在磁记录媒体上上浮，进行磁信息记录再生的磁头滑动块和其制造方法，本发明特别是涉及下述技术，该技术可形成良好的制造效率，可提高设置于滑动块主体的媒体相对面或导轨上的凸部的耐磨性，并且可防止设置于滑动块主体上的磁芯的腐蚀。

在过去，在计算机用的磁记录装置中，人们知道有图27所示的磁盘装置。

该磁盘装置为下述结构，在该结构中，在以可旋转的方式设置的圆盘状的磁盘81上，以相对的方式设置有磁头滑动块82，该磁头滑动块82按照下述方式构成，该方式为：通过三角形的板簧83，支承于支承臂84上，通过以支承臂84的旋转中心部84a为中心的旋转操作，磁头滑动块82可移动到磁盘81的直径方向的所需位置。

在图27所示的结构的磁盘装置中，在磁盘81停止的场合，磁头滑动块82的底面通过支承磁头滑动块82的板簧83的偏置力，轻轻地压靠于磁盘81上，在使磁盘81旋转的场合，通过伴随旋转而产生的空气流，磁头滑动块82按照以规定高度，在磁盘81上上浮的方式移动，如果使磁盘81的旋转停止，实现上浮移动的磁头滑动块82再次与磁盘81接触而停止，但是在上述上浮移动时，相对磁盘81的磁记录层，实现磁信息的读写，该一系列的动作状况通常称为“CSS(contact start step)”。

图28～30为表示过去广泛使用的双导轨型的磁头滑动块82的图。图28为表示磁头滑动决82的上浮移动状态的侧视图，图29为表示静止姿势的状态的侧视图，图30为沿该磁头滑动块82中的侧轨86的长度方向的剖面的放大图。在该磁头滑动块82的底面，在中间部，形成1个槽(图中省略)，在其两侧，形成有侧轨86,86，在各侧轨86的前端底面侧(磁盘81的旋转方向上游侧)上，形成倾斜面86a，空气通过该倾斜面86a，按照图28中的箭头A所示的那样流入，由此磁头滑动块82中的侧轨86的底面形成正压发生部，从而磁头滑动块82以上浮的方式移动。

此外，如图28中的双点划线所示，人们还知道下述磁头的结构，其中在侧轨86的底面，形成负压槽86b，通过使在负压槽86b中产生的负压与在上述侧轨86,86中产生的正压保持平衡，使上浮的移动性保持稳定。

还有，在各侧轨86的表面上，如图30所示，形成由Si形成的粘合层91，另外在该粘合层91上，形成第1碳膜92。

图28表示从侧面一侧观看磁头滑动块82的状态，由于在磁头滑动块82以上浮的方式移动的场合，通过倾斜面86a，空气流入磁头滑动块82的底面侧，此外在形成负压槽86b的场合，在磁头后部侧，产生负压，如图10所示，这样磁头滑动块82在将空气的流入侧上抬的状态，以微小角度倾斜的同时，以上浮的方式移动，一般该倾斜角度称为“倾角(通常为100μRad)”。

在这样的结构的磁头滑动块82中，磁盘81的启动时(上升时)与停止时(下降时)，与磁盘滑动接触。于是，为了防止磁盘面的磨耗或消耗，在磁盘81的记录层上，形成保护膜，在该保护膜上，形成润滑层。

在上述结构的磁头滑动块82中，如果从磁记录的面观看，由于在上浮时，磁头滑动块82中的磁隙G尽可能地接近磁盘81的磁记录层的场合是有利的，故希望尽可能地降低磁头滑动块82的上浮移动时的高度，另外，近年来，随着磁盘装置的高记录密度化和小型化，具有进一步减小磁头滑动块82的上浮量(磁头滑动块82与磁盘81的距离)的倾向。在打算减小上浮量的场合，必须尽可能地减小磁盘81的表面粗糙度，以避免处于上浮主体的磁头滑动块82与磁盘81的接触。

但是，在磁盘81启动时或停止时，磁盘81的表面越平滑，磁盘81与磁头滑动块82之间的接触面积越大，磁盘82与磁头滑动块81之间的吸附越容易，吸附扭矩越高，使磁盘81旋转的马达的启动时的负载越大，另外由于在磁盘81的旋转启动时，设置于支承臂84或滑动块82上的磁头元件或磁盘记录层容易发生破损，故通过粘合层和第1碳膜，分别靠近各侧轨86的空气流的流入侧，靠近空气流的流出侧，设置凸部89,89，减小与磁盘81的接触面积，以便防止上述情况。各凸部89由采用Si形成的中间膜93，以及由形成于其上的第2碳膜94形成。从制造效率等的方面来说，第1和第2碳膜92,94通常采用相同材质的碳膜。

下面对上述结构的已有的磁头滑动块的制造实例进行描述。