[实用新型]沉积类金刚石薄膜的镀膜机

权利要求书

1.一种沉积类金刚石薄膜的镀膜机，包括

<1>壁上带有第一透光窗口(401)，观察窗口(402)，排气口(403)，和第二透光窗口(404)的真空室(4)；

<2>真空室(4)内有置于旋转支架(7)上的靶材(6)和待沉积薄膜基底(5)；

其特征在于：

<3>置于真空室(4)外有光轴对准真空室(4)壁上第一透光窗口(401)中心的光源(1)，由光源(1)发射的光束(G)经置于光源(1)与第一透光窗口(401)之间的分束镜(2)将光束(G)分成消融沉积光束(G₁)和扫描光束(G₂)；

<4>由分束镜(2)透过的光束为消融沉积光束(G₁)经过置于分束镜(2)与第一透光窗口(401)之间的第一聚焦透镜(3)透过第一透光窗口(401)会聚到置于真空室(1)内的靶材(6)上；

<5>由分束镜(2)反射的光束为扫描光束(G₂)，经过反射镜(11)，第二会聚透镜(10)和置于旋转镜架(8)上的旋转反射镜(9)透过第二透光窗口(404)会聚到置于真空室(4)内的待沉积薄膜基底(5)上。

2.根据权利要求1所述的沉积类金刚石薄膜的镀膜机，其特征在于所说的光源(1)是准分子激光器，或者是半导体激光器，或者是其它固体激光器，或者是其它气体激光器。

3.根据权利要求1所述的沉积类金刚石薄膜的镀膜机，其特征在于所说的靶材(6)是由石墨构成的，或者是由超导材料构成的，或者是由其它金属材料构成的。