[发明专利]电极的连接方法及狭窄间距用连接器、间距变换装置、微型机、压电传动机构、静电传动机构、喷墨头、喷墨打印机、液晶装置、电子机器

权利要求书

1．一种狭窄间距用连接器，它是在基板上形成多个第一端子电极和多个第二端子电极、形成导电性地连接上述第一端子电极和上述第二端子电极用的布线的狭窄间距用连接器，其特征在于：

上述布线具有变换上述第一端子电极间的间距和上述第二端子电极间的间距的功能。

2．根据权利要求1所述的狭窄间距用连接器，其特征在于：利用硅形成上述基板。

3．根据权利要求1所述的狭窄间距用连接器，其特征在于：按各个端子电极间的间距在60微米以下来设定上述第一端子电极。

4．根据权利要求1所述的狭窄间距用连接器，其特征在于：按各个端子电极间的间距在80微米以上来设定上述第二端子电极。

5．根据权利要求1所述的狭窄间距用连接器，其特征在于：上述第二端子电极是作为与挠性基板、带载组件等的挠性基板连接用的端子电极。

6．一种间距变换装置，其特征在于：它是由狭窄间距用连接器和连接对象物构成的，

上述狭窄间距用连接器是在基板上形成多个第一端子电极和多个第二端子电极、形成导电性地连接上述第一端子电极和上述第二端子电极用的布线构成的，

上述连接对象物有与上述第一端子电极导电性地连接的外部电极。

7．根据权利要求6所述的间距变换装置，其特征在于：上述基板具有其热胀系数大致等于上述连接对象物的热胀系数，或者比上述连接对象物的热胀系数小的特性。

8．根据权利要求6所述的间距变换装置，其特征在于：上述基板和上述连接对象物是用同一种材料形成的。

9．根据权利要求6所述的间距变换装置，其特征在于：上述基板和上述连接对象物是用硅形成的。

10．根据权利要求6所述的间距变换装置，其特征在于：上述第一端子电极和上述外部电极通过导电性构件导电性地连接。

11．一种电极的连接方法，它是连接在具有间距变换功能的狭窄间距用连接器上形成的端子电极和在连接对象物上形成的外部电极的连接方法，其特征在于：

根据上述狭窄间距用连接器和上述连接对象物的热胀系数的差设定加热条件，对连接上述端子电极和上述外部电极的区域进行加热和加压。

12．根据权利要求11所述的电极的连接方法，其特征在于：根据上述加热条件，用第一加热器加热上述端子电极一侧，而且用第二加热器加热上述外部电极一侧。

13．一种微型机，它是有形成运动机构部和多个第一端子电极的第一基板的微型机，其特征在于：

有形成了与上述多个第一端子电极导电性地连接用的第二端子电极的第二基板，

在上述第二基板上形成多个第三端子电极、以及导电性连接上述第二端子电极和上述第三端子电极用的布线，

上述布线具有变换上述第二端子电极间的间距和上述第三端子电极间的间距的功能。

14．一种压电传动机构，它是有压电元件和形成多个第一端子电极的第一基板的压电传动机构，其特征在于：

有形成了与上述多个第一端子电极导电性连接用的第二端子电极的第二基板，

在上述第二基板上形成多个第三端子电极、以及导电性连接上述第二端子电极和上述第三端子电极用的布线，

上述布线具有变换上述第二端子电极间的间距和上述第三端子电极间的间距的功能。

15．一种静电传动机构，它是有静电振子和形成多个第一端子电极的第一基板的静电传动机构，其特征在于：

有形成了与上述多个第一端子电极导电性连接用的第二端子电极的第二基板，

在上述第二基板上形成多个第三端子电极、以及导电性连接上述第二端子电极和上述第三端子电极用的布线，

上述布线具有变换上述第二端子电极间的间距和上述第三端子电极间的间距的功能。