[发明专利]电极的连接方法及狭窄间距用连接器、间距变换装置、微型机、压电传动机构、静电传动机构、喷墨头、喷墨打印机、液晶装置、电子机器

说明书

技术领域

本发明涉及电极的连接方法、以及利用该连接方法使端子互相连接的狭窄间距用连接器、间距变换装置、微型机、压电传动机构、静电传动机构、喷墨头、喷墨打印机、液晶装置、电子机器。

背景技术

近年来，电子机器的进展明显，伴随其小型轻量化·大容量化，每单位面积的集成度也在提高。可是，其周边部分的技术进步相对地落后，特别是连接部的端子电极的微细化还没有设计方案，这就是目前的实际情况。

在例如有内部安装了压电元件，利用压电元件的振动，进行喷墨的打印头(以下称打印机引擎部)，以及液晶装置的LCD单元等的连接对象物中，微细化每年都有所进步，对应于该微细化，端子电极的间隔变得狭窄了，但为了连接这样的连接对象物和驱动电路，至今安装由挠性基板构成的连接器，利用该连接器进行布线图形的间距变换，进行与上述驱动电路的连接。

根据图对其进行更详细地说明，图17是连接对象物和由挠性基板构成的连接器的主要部分放大图，如图17所示，在打印机引擎部和液晶装置的LCD单元等连接对象物1中，在其表面上迂回多条连接在元件上的布线2，在连接对象物1的端部形成端子电极3。

另一方面，对连接对象物1进行连接的连接器4采用其材料由聚酰亚胺构成的挠性基板。而且在该基板的一端形成端子电极5，同时在与该端子电极5相反一侧的端部形成端子电极6，该端子电极6的宽度比端子电极5宽，且具有幅度宽的间隔。而且设有布线6A，以便连接端子电极5和端子电极6，在该布线6A的迂回途中进行宽度和间隔的变更。

图18是表示对连接对象物1和连接器4进行连接的顺序的说明图。如图18所示，在连接上述的连接对象物1和连接器4的情况下，首先将连接对象物1设置在焊接台7上，并使端子电极3位于上面一侧。其次，将设置在连接器4上的端子电极5和上述端子电极3的位置对齐，使两者重合。另外，在端子电极3和端子电极5之间涂敷包含导电性颗粒的粘接剂，通过导电性颗粒谋求两电极的导通。

这里，在两电极重合后的上方、即在连接器4的端子电极5的上方，设置可以升降的焊头8。另外，在焊头8的内部设有加热器9，使该加热器9工作，能加热焊头8的前端部。

而且通过使这样的焊头8下降，谋求导电性颗粒和两电极的密切接触，同时通过加热谋求缩短粘接剂的干燥时间，进行两电极的连接。另外，两电极连接时，不一定需要含有导电性颗粒的粘接剂，也可以不通过粘接剂，而将两电极重合起来加压和加热，进行焊接或金属接合。

另外，这里虽然以使用压电元件的打印头(打印机引擎部)和液晶装置的LCD单元为例进行了说明，但利用同样的技术也能进行以下装置的接合：在基板上形成微细的运动机构部，引出将能量传递给(施加电压)该运动机构部的布线的微型机、使用压电元件的压电传动机构、使用静电振子的静电传动机构、使用静电传动机构的打印头、使用这些传动机构的打印机、以及安装了这些机器的电子机器。

可是，在上述的连接器、以及电极的连接方法中，存在下述的技术课题。

图19(a)、(b)表示图18中的C-C剖面图，如上所述，在打印机引擎部、以及液晶装置的LCD单元等连接对象物1中，在微细化方面每年都有所进步，对应于该微细化，端子电极3的间隔10变得狭窄了。因此，如果构成连接对象物1的材料(主要是硅)和构成连接器4的材料(主要是聚酰亚胺)的热胀系数不同，则为了将两者连接起来而使焊头8接近时，受该焊头8内部的加热器9的影响，如图19(b)所示，连接器4一侧的热膨胀大，端子电极5相对于端子电极3的位置变动，有可能发生两端子之间的电阻值增大或连接不良或与相邻的端子短路的不良现象。另外，在本发明者进行的各种研究中，确认了在使用现有的聚酰亚胺材料的连接器中，布线间距的限度为60微米左右。

另外，在电极的连接方法中，虽然利用焊头8中安装的加热器9进行两端子连接时的加热，但如果利用该加热器9进行加热，则相对于连接对象物1一侧来说，连接器4一侧的温度高，连接对象物1和连接器4之间产生温差，如果构成连接器4的材料比构成连接对象物1的材料的热胀系数大，则连接时端子电极3和端子电极5的偏移变得更大。而且，在本发明者进行的各种研究中，确认了在图19(b)中的a的位置为360℃～400℃，在b的位置为180℃～230℃，在c的位置为160℃左右。