[发明专利]窄间距用连接器、间距变换装置、微机械、压电传动器、静电传动器、喷墨头、喷墨打印机液晶面板、电子装置

权利要求书

1．一种窄间距用连接器，其中，在基板上形成了多个第1端子电极和多个第2端子电极，形成了连接到上述第1端子电极上的第1布线和连接到上述第2端子电极上的第2布线，其特征在于：

具有导电性地连接到上述第1布线上和上述第2布线上的半导体装置，

上述第1端子电极间的间距比上述第2端子电极间的间距窄，而且，上述第1端子电极数比上述第2端子电极数多。

2．如权利要求1中所述的窄间距用连接器，其特征在于：

上述基板由硅形成。

3．如权利要求1中所述的窄间距用连接器，其特征在于：

将上述半导体装置配置成该半导体装置的长边与上述第1端子电极的排列方向大体平行。

4．如权利要求1中所述的窄间距用连接器，其特征在于：

将上述半导体装置配置成该半导体装置的短边与上述第1端子电极的排列方向大体平行。

5．如权利要求1中所述的窄间距用连接器，其特征在于：

在上述基板上具有绝缘层，至少在配置了上述半导体装置的区域上形成了上述绝缘层，在上述绝缘层上形成了上述第1布线和上述第2布线。

6．一种间距变换装置，具有窄间距用连接器和连接对象物，在上述窄间距用连接器中，在基板上形成了多个第1端子电极和多个第2端子电极，形成了连接到上述第1端子电极上的第1布线和连接到上述第2端子电极上的第2布线，上述连接对象物具有与上述第1端子电极导电性地连接的外部端子电极，其特征在于：

具有导电性地连接到上述第1布线上和上述第2布线上的半导体装置，上述第1端子电极间的间距比上述第2端子电极间的间距窄，而且，上述第1端子电极数比上述第2端子电极数多。

7．如权利要求6中所述的间距变换装置，其特征在于：

上述基板具有其热膨胀系数与上述连接对象物的热膨胀系数大致相等或比上述连接对象物的热膨胀系数小的特性。

8．如权利要求6中所述的间距变换装置，其特征在于：

上述基板和上述连接对象物由同一材料形成。

9．如权利要求6中所述的间距变换装置，其特征在于：

上述基板和上述连接对象物由硅形成。

10．如权利要求6中所述的间距变换装置，其特征在于：

经导电性构件导电性地连接上述第1端子电极与上述外部端子电极。

11．一种微机械，具有运动机构部和形成了多个外部端子电极的第1基板以及形成了与上述多个外部端子电极导电性地连接用的第1端子电极的第2基板，其特征在于：

上述第2基板具有：多个第2端子电极；连接到上述第1端子电极上的第1布线；连接到上述第2端子电极上的第2布线；以及连接到上述第1布线和上述第2布线上的半导体装置，

上述第1端子电极间的间距比上述第2端子电极间的间距窄，而且，上述第1端子电极数比上述第2端子电极数多。

12．一种压电传动器，具有压电元件和形成了多个外部端子电极的第1基板以及形成了与上述多个外部端子电极导电性地连接用的第1端子电极的第2基板，其特征在于：

上述第2基板具有：多个第2端子电极；连接到上述第1端子电极上的第1布线；连接到上述第2端子电极上的第2布线；以及连接到上述第1布线和上述第2布线上的半导体装置，

上述第1端子电极间的间距比上述第2端子电极间的间距窄，而且，上述第1端子电极数比上述第2端子电极数多。

13．一种静电传动器，具有静电振子和形成了多个外部端子电极的第1基板以及形成了与上述多个外部端子电极导电性地连接用的第1端子电极的第2基板，其特征在于：

上述第2基板具有：多个第2端子电极；连接到上述第1端子电极上的第1布线；连接到上述第2端子电极上的第2布线；以及连接到上述第1布线和上述第2布线上的半导体装置，

上述第1端子电极间的间距比上述第2端子电极间的间距窄，而且，上述第1端子电极数比上述第2端子电极数多。

14．一种喷墨头，其特征在于：

使用了权利要求12中所述的压电传动器。

15．一种喷墨头，其特征在于：

使用了权利要求13中所述的静电传动器。