[发明专利]圆形或环形涂层膜的形成方法无效
| 申请号： | 00810892.7 | 申请日： | 2000-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN1365302A | 公开（公告）日： | 2002-08-21 |
| 发明（设计）人： | 横山卓也 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | B05D1/40 | 分类号： | B05D1/40;B05C11/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 圆形 环形 涂层 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
1.使用一涂层装置来形成一圆形或环形涂层膜的方法，构成所述涂层装置的是：一可旋转的工作台，通过抽真空将一基片水平地保持在所述工作台上；以及一喷嘴，所述喷嘴可以在所述工作台上方垂直及水平地移动，其末端部设有一排放孔，其中，沿在所述工作台的一旋转中心与预定外部位置之间的预定间隔中的一方向移动所述喷嘴，以便从排放孔直线地向基片提供涂层液，在该状态下，旋转工作台，并将所述喷嘴保持在离所述旋转工作台的一预定高度处。
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