[发明专利]在非易失性存储器中存储引线校准数据的基于事件的测试系统

权利要求书

1．一种用来测试半导体器件的半导体测试系统，具有许多测试通道，经测试通道给被测器件的器件引线提供测试模式，并检验被测器件的输出响应信号，所述的测试系统包括：

多个插接板，每个插接板有多个插接单元，插接单元为测试通道的一个组成部分；

非易失性存储器，设置在每个插接板内，用来存储插接板上所有插接单元的有关误差因素的校准数据；以及

微处理器，设置在每个插接板内，用于管理插接板上所有插接单元的校准数据以及执行校准过程；以及

其中，每个插接单元均被配置成一个基于事件的测试器，根据存储在事件存储器中的事件数据直接产生测试模式或选通信号，事件存储器确定前一个事件相对于一个时间差之后所发生的任何变化。

2．根据权利要求1所述的半导体测试系统，其中，校准数据包括用来对被测器件所对应插接板的有关参数的各种误差因素进行补偿的校准数据。

3．根据权利要求1所述的半导体测试系统，其中，校准数据包括用于补偿各种误差因素的校准数据，所述的误差因素包括：测试模式的定时、测试模式的参考电压、选通信号的定时及参考比较电压。

4．根据权利要求1所述的半导体测试系统，还包括：

被测器件所专用的操作板，用于将被测器件安装在上面，带有给被测器件发送信号和从被测器件接收信号的信号通道；

引线固定装置，设置在操作板和测试系统主机(frame)之间，用于把测试系统内多个插接板与操作板相互连接起来。

5．根据权利要求4所述的半导体测试系统，其中，校准数据包括用于补偿各种误差因素的校准数据，所述的校准数据包括：测试模式的定时、测试模式的参考电压、选通信号的定时和参考比较电压、以及操作板和引线固定装置内的信号传送延迟时间。

6．根据权利要求1所述的半导体测试系统，其中，每个插接单元包括：

事件存储器，用于存储每个事件的定时数据，其中，当前事件的定时数据是利用特定数目的数据位、以距离上个事件的一个延迟时间来表示的；

地址定序器，用于产生地址数据和给事件存储器提供地址数据；

根据事件存储器的定时数据来生产测试模式的装置；以及

驱动器/比较器，用于将测试模式传送给被测器件的相应引线，并从被测器件接收输出响应信号。

7．根据权利要求6所述的半导体测试系统，其中，事件存储器中的定时数据由事件计数数据和事件游标数据组成，所述的事件计数数据为参考时钟周期的整数倍(整数部分的数据)，所述的事件游标数据为参考时钟周期的小数部分(小数部分的数据)。