[发明专利]在非易失性存储器中存储引线校准数据的基于事件的测试系统

说明书

本发明涉及一种用来测试诸如集成电路之类的半导体器件的半导体测试系统，特别是一种基于事件的半导体测试系统，它在插接板内的非易失性存储器中存储对插接单元测试精度有影响的各种参数的校准数据。

在利用半导体测试系统，例如集成电路测试器，对诸如集成电路和大规模集成电路之类的半导体器件进行测试时，集成电路测试器在适当的测试引线上、以预定的测试定时给被测半导体集成电路器件提供测试信号或测试模式(pattern)。集成电路测试器接收被测集成电路器件对应于测试信号所产生的输出响应信号。测试器根据选通信号、以预定的定时，对输出信号进行选通或抽样，将其与所期望的输出数据进行比较，以确定集成电路是否功能正确。

测试信号经过使其达到预期振幅、阻抗及转换速度的驱动器，传送到被测器件。模拟比较器根据选通信号的定时，对被测器件的输出响应信号进行抽样，用来和预定的阈值电压进行比较。驱动器和模拟比较器通常装在一个被称之为引线电子装置的部件之内。由于引线电子装置涉及到了测试信号和响应信号的模拟值，还有直流参数测定的直流电压和直流电流，因此，需要对引线电子装置内的各种参数进行校准，以确保精确的测试。本发明旨在提供一种在半导体测试系统内存储校准数据的技术。

传统上，测试信号和选通信号的定时是以半导体测试系统的测试频率或测试周期为基础进行确定。这种测试系统往往被称之为基于周期型测试系统。除此之外，还有另外一种类型的测试系统，其被称之为基于事件的测试系统，在这种测试系统中，所期望的测试信号和选通信号是根据直接位于每个引线基底上的事件存储器的事件数据来产生。本发明最好适用于这种基于事件的半导体测试系统，不过，也适用于传统的采用完全引线结构的基于周期型半导体测试系统。

在基于事件的测试系统中，使用了事件的概念，在这里，事件是指测试信号的逻辑状态所发生的任何变化。例如，测试信号的上升边缘、测试信号的下降边缘或选通信号的定时边缘所发生的任何变化。事件的定时是根据相对于参考时间点的一个时间长度来进行确定。通常，参考时间点为前一个事件的定时。但是，参考时间点也可以是一个对于所有事件都公用的固定起始时间。

在基于事件的测试系统中，由于定时存储器(事件存储器)内的定时数据不需要含有涉及每个测试周期的波形、矢量、延迟等复杂信息，因此，定时数据的描述能够大大简化。在如前所述的基于事件的测试系统中，存储在事件存储器内的每个事件的定时(事件)数据通常利用当前事件和上个事件之间的时间差来表示。与距离固定起始点的时间差(绝对时间)不同的是，由于相邻事件的时间差(增量时间)通常很小，存储器内的数据尺寸也很小，从而可降低对存储器容量的要求。

如前所述，为了实现对器件参数的精确测试，需要对半导体测试系统内的引线电子装置进行校准。下面以实例的形式说明半导体测试系统中可能需要进行的数据校准的类型，其中包括：(1)补偿参考驱动电压；(2)补偿参考比较(阈值)电压；(3)补偿驱动电流负载；(4)补偿与测试引线相关的参数(直流电压和直流电流)测量电路；(5)补偿用来触发比较的定时选通信号；(6)补偿用来驱动测试引线的测试信号的定时触发器。除此之外，还有其它一些对测试结果的精度和分辨率也有影响的误差因素，其中包括在操作板(performance board)和引线固定装置(pin fixture)内的信号传送延迟时间(操作板和引线固定装置安装在被测器件和插接板之间)。

因此，需要确定一种可在测试系统内保留校准数据的有效方法，以便在经过一定时间间隔时或在每次打开测试系统电源时，对各种参数进行补偿。

本发明的目的之一是提供一种半导体测试系统，它带有多个插接板(pin card)，校准数据存储在其中的一个插接板之中，每个插接板有多个插接单元(pin unit)，每个插接单元被配置为一个基于事件的测试器。

本发明的目的之二是提供一种基于事件的半导体测试系统，它带有多个插接单元的每个插接板都含有一个非易失性存储器，用来存储插接板各插接单元的各种参数的校准数据。

本发明的目的之三是提供一种基于事件的半导体测试系统，它带有多个插接单元的每个插接板都含有一个非易失性存储器及一个处理器，非易失性存储器用来存储插接板各插接单元的各种参数的校准数据，处理器用来进行插接板的校准过程。

本发明的目的之四是提供一种基于事件的半导体测试系统，它以效费比高、无差错、简单可靠的校准数据管理方式，对所有插接板的校准数据进行管理。