[发明专利]液体输入输出控制装置及方法

权利要求书

1.一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，此用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括：

一基座，其上具有至少一孔洞；

一管衔结构，具有一第一端口与一第二端口，该管衔结构的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合；以及

一透明长管，供一液体通过，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该管衔结构的第二端口，而第二管口设置于该预置槽内部，而得以将一原液输出。

2.根据权利要求1所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括另一管衔结构，该另管衔结构具有一第一端口与一第二端口，该另管衔结构的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合。

3.根据权利要求2所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一透明短管，供该原液通过，该透明短管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该另一管衔结构的该第二端口，而该第二管口设置于该预置槽内部，而得以将该原液输入。

4.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该透明长管与该透明短管是由铁氟隆构成。

5.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该两管衔结构是由铁氟隆构成。

6.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该添加液为去离子水。

7.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该基座是由聚氯乙烯构成。

8.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一搅拌器，一端连接该基座的孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。

9.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一控制装置，用以控制该透明短管输入一清洁液，以进行该预置槽清洗后，再控制该透明长管将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。

10.根据权利要求3所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一第一导引管，经由一第一管衔装置，连接到该透明长管所连接孔洞的另一侧；以及一第二导引管，经由一第二管衔装置，连接到该透明短管所连接孔洞的另一侧。

11.根据权利要求10所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该第一导引管、第一管衔装置、第二导引管以及第二管衔装置是由铁氟隆构成。

12.一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，该用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括：

一基座，其上具有至少一个孔洞；

一第一管衔结构，连接到该孔洞的一端，用以与该基座结合后易于拆卸；

一透明管路，具有两管口，一管口插入到第一管衔结构结构内，另一管口位于该该预置槽内；

一第二管衔结构，连接到该孔洞的另一端，用以与该基座结合后易于拆卸；以及

一分叉管，具有至少三个管口，一第一管口插入到该第二管衔结构，一第二管口，用以将一液体输出，一第三管口，用以将一添加液输入。

13.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该分叉管是为Y型的结构。

14.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该分叉管是为T型的结构。

15.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中还包括一搅拌器，一端连接另一孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。

16.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该透明管路是由铁氟隆构成。

17.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该第一管衔、第二管衔是由铁氟隆构成。

18.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该添加液为去离子水。

19.根据权利要求12所述的液体输入输出控制装置，其特征在于，其中该基座是由聚氯乙烯构成。