[发明专利]液体输入输出控制装置及方法

说明书

本发明是有关于一种液体输入输出控制装置及方法，该装置是一种设计成透明、可拆除的液体输入输出控制装置，具有易于观察化学液体残留与方便清洗的作用。

在半导体的制程中，我们常需要提供一些我们所需要浓度的液体来进行反应。为有效控制浓度标准，我们会在一预置槽内，首先加入由厂商所提供的原液，其浓度一般较高，接著在加入添加液(如去离子水(DIwater)来降低浓度。上述控制原液与添加液的部分，一般装载于预置槽上面，统称为液体输入输出控制装置。

如图1绘示习知EBARA公司的SSU/CSU瓶子的H管结构图形。在图中包括有一预置槽10(即SSU/CSU瓶子)、以及由基座12与H管22所构成的液体输入输出控制装置。

其中基座12上包括一底部结合处14，用以与预置槽10上面开口结合，以及复数个孔洞20、21、23，其中孔洞21、23用以提供H管22插入，至于另一孔洞23则预留给搅拌器30。

而H管22包括有一短管24、一长管26以及一横向连接杆28。横向接杆28连接在短管24与长管26之间，长管26与短管24分别具有两端，且其一端共同固定连接到基座12的孔洞21、23，而两者另一端则位于预置槽10内，由于长管26长度较长，几乎接触到预置槽10底部，加上预置槽10底部设计成外凹中凸结构19，所以长管26可以将内部液体，完全的输出到使用的制程机台，而不会有过多残留现象。而另一短管24则设计长度较短，用以输入添加剂(如去离子水)，使得原液的浓度降低到所需标准，并配合使用搅拌器30来调匀液体浓度。此外，基座12的孔洞21、23，不一定要设计在正上方，亦可设计在侧边任何一方，只要以第一管路16与第二管路18连接，作为添加剂输入与液体输出即可。

由于H管部分本身材质聚氯乙烯(PVC)为不透明材料，所以对于管内液体传送更无法有较掌握，使得具有高黏稠液体，在管内输送发生黏滞现象时，往往无法发现，必须要到整个管路受到完全阻塞无法供应，造成机台发生问题时才能察觉。

此外，基座部分与H管部分是为一体成型，无法进行拆除，所以在进行清洗时，只能将基座部分与H管部分一起拔出，对H管由底部以清洗液将管内黏滞液体排出，但黏滞的液体往往会卡在H管与基座的孔洞的接合处，而无法完全排出，因此在清洗时，又需要以人工将上述孔洞所黏滞的液体挖除，不但浪费时间而且浪费人力。

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种液体输入输出控制装置，将原先H管改为透明材质，如此在操作时，便可以随时监控内部管壁上液体残留的状况，然后进一步作随时清洗的动作。

此外，本发明的另一目的在于提出一种液体输入输出控制装置，将原先基座部分与H管部分作成分离结构，然后设计易于拆除与结合的管接头，先与H管部分的长管、短管结合后，再插到基座部分，如此在进行清洗时，便可以拆开来，作更彻底的清洗。

本发明提供一种液体输入输出控制装置，与一预置槽结合，此用于化学机械研磨法的液体输入输出控制装置，其特征在于，包括：一基座，其上具有至少一孔洞；一管接头，具有一第一端口与一第二端口，该管接头的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合；以及一透明长管，供一液体通过，该透明长管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该管接头的第二端口，而第二管口设置于该预置槽内部，而得以将一原液输出。

在上述本发明的装置中，进一步还包括另一管接头，该另管接头具有一第一端口与一第二端口，该另管接头的该第一端口，气密连结至该基座上的该孔洞，而得与该基座结合。

在上述本发明的装置中，进一步还包括一透明短管，供该原液通过，该透明短管具有一第一管口与一第二管口，该第一管口气密连接至该另一管接头的该第二端口，而该第二管口设置于该预置槽内部，而得以将该原液输入。

另外，在上述的装置中，该透明长管与该透明短管可以是由铁氟隆构成；该两管接头可以是由铁氟隆构成；该添加液可以为去离子水；该基座可以是由聚氯乙烯构成。

还有，在上述本发明的装置中，进一步还包括一搅拌器，一端连接该基座的孔洞，另一端位于该预置槽内部，用以调匀该液体与该添加液。

还有，在上述本发明的装置中，进一步还包括一控制装置，用以控制该透明短管输入一清洁液，以进行该预置槽清洗后，再控制该透明长管将该预置槽内的该清洁液与该液体排出。

还有，在上述本发明的装置中，进一步还包括一第一导引管，经由一第一管接头，连接到该透明长管所连接孔洞的另一侧；以及一第二导引管，经由一第二管接头，连接到该透明短管所连接孔洞的另一侧。