[发明专利]具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统无效
申请号: | 01110411.2 | 申请日: | 2001-04-03 |
公开(公告)号: | CN1378259A | 公开(公告)日: | 2002-11-06 |
发明(设计)人: | 张国勇 | 申请(专利权)人: | 华邦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 穆魁良 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 辨识 功能 半导体 管芯 测试 系统 | ||
本发明涉及一种半导体多管芯测试系统,特别是一种具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统,可免除因接线错误而使测试结果不正确的问题。
图1显示了一传统半导体多管芯测试系统的方块图,此系统包括一测试处理机1(Handler/prober)、一测试装置2、及一界面装置3。
测试处理机1包括一接收装置13,在接收装置13中放入一具有三个待测管芯(Die)11a、11b、11c的晶片(图未显示)以进行测试。显示器14则从测试频道15a、15b、15c取得测试结果并将其显示。
测试装置2包括与待测管芯11a、11b、11c相对的多个(此处为三个)测试模组21a、21b、21c及测试机22a、22b、22c。测试机22a、22b、22c分别控制测试模组21a、21b、21c经由信号线L1、L2、L3发出一组测试用信号至待测管芯11a、11b、11c,待测管芯11a、11b、11c的测试结果将经由信号线L1、L2、L3传回,再经由测试模组21a、21b、21c转送至测试机22a、22b、22c。
测试机22a、22b、22c经由信号线L4、L5、L6将测试结果送至界面装置3,经界面装置3转换信号接头后再经由信号线L7送回测试处理机1的测试频道15a、15b、15c。
上述的半导体多管芯测试系统有发生接线错误而导致测试结果错误的问题。如图2所示,当信号线L1、L2连接顺序倒置时,即待测管芯11a的输出连接至测试模组21b,而待测管芯11b的输出连接至测试模组21a,使得测试装置2将由信号线L4输出待测管芯11b的测试结果,而由信号线L5输出待测管芯11a的测试结果,最后使得显示器14在测试频道15a上显示待测管芯11b的测试结果,而在测试频道15b上显示待测管芯11a的测试结果。如果此时操作人员未追踪接线的方向,将会误把待测管芯11a及11b的测试结果倒置而发生错误。
由于只有在信号线L7一端为单一接线,上述的问题除了信号线L7以外,信号线L1、L2、L3一端及信号线L4、L5、L6一端都会有接线错误的问题。
因此,为克服以上现有技术的不足,本发明特提供一种具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统,使用复数测试频道对复数待测管芯进行测试,其技术方案为:该系统包括一编码装置、一测试装置及一辨识装置。其中编码装置产生每一待测管芯的识别码且每一识别码与每一测试频道相对。测试装置对待测管芯进行测试而读取并转送每一待测管芯的测试结果与识别码。辨识装置自测试装置接收每一待测管芯的测试结果与识别码,并依据识别码,将每一待测管芯的测试结果输出至一相对测试频道。
本发明的另一目的在于提供一种具自动辨识功能的半导体多管芯测试系统,使用复数测试频道对一晶片上的复数待测管芯进行测试,其技术方案为:该系统包括一接收装置、一显示装置、一编码装置、一测试装置及一辨识装置。其中,接收装置接收该晶片。显示装置自该些测试频道接收并显示该些测试结果。编码装置产生该晶片上每一待测管芯的识别码,且每一识别码与每一测试频道相对。测试装置,对该些待测管芯进行测试而读取并转送每一待测管芯的测试结果与识别码。辨识装置自该测试装置接收每一待测管芯的测试结果与识别码,并依据该些识别码,将每一待测管芯的测试结果输出至一相对测试频道。
通过以上对本发明的目的和技术方案的描述可知,本发明借由一编码装置提供一识别码随测试结果输出,再由一辨识装置依据识别码决定测试结果的输出频道,因此,即使操作人员在测试装置与测试处理机间或在测试装置与辨识装置间发生接线错误时,本系统依然可自动将测试结果送入识别码所指定的测试频道,防止错误的发生。
下面是本发明的附图:
图1为传统的半导体多管芯测试系统的方块图;
图2为发生接线错误时的传统的半导体多管芯测试系统的方块图;
图3为本发明一实施例的半导体多管芯测试系统的方块图;
图4为本发明一实施例的半导体多管芯测试系统中辨识装置的电路图。
图中元件符号说明:
1测试处理机 11a-11c待测管芯 13接收装置
14显示器 15a-15c测试频道 L1-L7信号线
21a-21c测试模组 22a-22c测试机 3界面装置
4辨识装置 41a-41c选择器 411a-419c开关
5编码装置 51a-51c开关组
下面结合附图对本发明做进一步详述:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华邦电子股份有限公司,未经华邦电子股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01110411.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造