[发明专利]曳引驱动减速器、输送装置及其双轴输出编码器结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种曳引驱动减速器，其包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒。

本发明还涉及一种输送装置，其使用了作为驱动装置的曳引驱动减速器，减速器包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒。

本发明还涉及一种用在输送装置中的双轴编码器结构。

背景技术

(1)在包括一根外接轴、多根环绕着外接轴外圆周接触着布置的中间轴和一个内接着中间轴外圆周的内接滚筒的曳引驱动减速器中，驱动电机的旋转从外接轴引入，中间轴被支承件可旋转地支承着，输出取自支承件，这种曳引驱动减速器是众所周知的(例如JP-A-58-119746)。

然而，在传统众所周知的曳引驱动减速器中，如果多根中间轴的直径存在偏差，则用于引出输出的支承件的旋转中心可能不与外接轴的中心一致。因此，取自支承件的输出可能出现旋转不均匀性，这一点是不利的。

也就是说，在传统曳引驱动减速器中，来自驱动电机的旋转力被引入外接轴上，与此相反，输出取自支承着中间轴的支承件。在这种情况下，如果因多根中间轴的直径存在偏差而导致内接滚筒的中心错位，则输出的旋转中心会绕着原始旋转中心旋转，旋转半径等于错位量，因此，旋转中心的错位将导致输出侧的旋转出现误差。

为此，本发明的一个目的是提供一种没有上述问题的曳引驱动减速器。

(2)在需要禁止微粒的精细加工领域，例如半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板加工领域，被输送的材料必然不能通过夹持(抓持被输送的材料)而被输送(无法保持)。因此，作为这种输送领域的运送方法，现在的状况是利用系统的输送装置进行输送，其中被输送材料只被放在(只被支承在)手臂(末端操作器)段。

然而，在这种输送装置中，支承件包括有机(例如橡胶或类似物)支承和无机(陶瓷或类似物)支承，因此有一个问题是，尽管有机支承的摩擦力相对较大，但不能用在高温部分中。此外，还有一种真空吸收系统，然而，尽管该系统可以用在空气中，但不能够用于产生在半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板的加工中希望使用的真空。此外，在真空吸收方法中，结构复杂而且成本高。

因此，在许多情况下，被输送的材料(晶片或类似物)只被手臂支承段的摩擦力保持着。然而，当这种材料被突然移动或在移动中出现振动时，被输送的材料会出现滑动和错位，从而会出现诸如产生颗粒、控制故障、被输送材料受损等缺点。因此，为了将输送装置用在这样的精确输送领域，需要有这样的输送装置，即它可以进行振动(加速度)极小的输送(平稳输送)。

在这种需要禁止颗粒和需要用于精确加工诸如半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板等的输送工具中，通常要使用直接传动(DD)系统驱动装置(JP-A-3-281183)。然而，在DD系统驱动装置中，由于输出密度(扭矩/体积，扭矩/电机功率)较小，因此存在的问题是驱动装置较大而且电源功率也较大。

一方面，为了实现驱动装置紧凑化的目的，现有一种使用了带齿轮机构的减速器的输送装置。通过使用带齿轮机构的减速器，驱动装置的紧凑化变得可行。然而，由于设有齿轮，因此有一个问题是存在游隙，或者会产生振动或噪音。此外，为了降低振动或噪音，在使用了带齿轮机构的减速器的输送装置中，控制会变得复杂，而成本较高。

为此，本发明的另一个目的是提供一种输送装置，其能够解决上述传统技术中伴随的问题，而且曳引驱动减速器被用作驱动装置，以及提供一种紧凑和低振动、低噪音的输送装置，其可以用在半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板加工中。

(3)在需要禁止颗粒和需要用于精确加工诸如半导体晶片或LCD(液晶显示器)玻璃底板等的输送工具中，众所周知的是一种布置在真空中的光学编码器(例如JP-W-8-506771(USP5,720,590))。

在JP-W-8-506771中公开的输送装置中，由于编码器和轴承设在真空环境中，因此必须使用真空环境中要求采用的高成本编码器和轴承。此外，由于轴承用在真空环境中，因此在希望提高负载能力时，轴承将成为颗粒产生的一个因素。因此，有一个问题是负载能力不能提高。

为此，本发明的另一个目的是提供一种用在简单构造的输送装置中的双轴输出编码器结构。

发明内容