[发明专利]接触臂及采用该接触臂的电子零件试验装置

说明书

本发明涉及试验半导体集成电路元件等各种电子零件(以下称为IC)的电子零件试验装置。特别涉及保持被试验电子零件、使其与接触部接触的接触臂。

在被称为处理机(handler)的电子零件试验装置中，把收容在托盘上的多个被试验IC运送到处理机内，使各被试验IC与试验头电气接触，在电子零件试验装置本体(以下称为试验机)上进行试验。试验结束后，将各被试验IC从试验头排出，换装到与试验结果相应的托盘上，进行合格品和不合格品的分类。

现有的电子零件试验装置中采用的接触臂，有图5A和图5B所示的2种形式。

图5A所示的接触臂105d，备有装在Z轴驱动机构105c上的保持头D1，在该保持头D1内埋设着加热器D4，该加热器D4用于保持对被试验IC施加的高温热应力。通过控制设在Z轴驱动机构105c上的马达(图未示)，管理试验IC对接触部201的推压力。

图5B所示的接触臂105d，在Z轴驱动机构105c与保持头D1之间，设有弹簧D6，由该弹簧D6吸收保持头D1与接触部201的相对倾斜。

但是，上述2种形式的接触臂分别具有以下问题。

即，图5A所示的接触臂105d中，由于没有图5B所示的由弹簧D6构成的浮动机构，所以，必须在Z轴驱动机构105c与保持头D1之间设置垫片等，以调节保持头D1与接触部201的相对倾斜。但是，采用垫片等的机械调节法，不能充分吸收保持头D1与接触部201间的相对倾斜。

该形式的接触臂105d，虽然通过马达控制能管理推压力，但是，需要压力管理的被试验IC越倾斜，则压力管理的误差就越大，如不能恰当地进行倾斜调节，就不能进行正确的试验。而且，由于是用一个马达的控制进行压力管理，所以，不能适用于用一个保持头推压多个被试验IC的情形。

图5B所示的接触臂105d中，虽然借助由弹簧D6构成的浮动机构，修正保持头D1与接触部201的相对倾斜，但是由于夹设着弹簧D6，在保持头D1内没有埋设加热器D4的空间，虽然可以把加热器D4设在Z轴驱动机构105c侧，但热被弹簧D6阻隔。因此，该形式的接触臂，只适用于维护性差和成本高的箱形处理机。另外，弹簧D6虽然能修正倾斜，但是最终的推压力成为弹簧D6的力，不能进行压力管理。

本发明的目的是提供一种接触臂和电子零件试验装置，根据本发明，可将行程管理和压力管理分开进行，倾斜调节容易，而且能灵活地对应承口配列和同测个数的变更。

为了实现上述目的，本发明的电子零件试验装置用接触臂，使被试验电子零件与接触部接触，其特征在于，备有保持头、浮动机构和流体压缸；

上述保持头用于保持被试验电子零件；

上述浮动机构，设在可接近或远离上述接触部的驱动机构与上述保持头之间，将保持头可摆动地支承在上述驱动机构上；

上述流体压缸，设在上述驱动机构与上述保持头之间，调节从驱动机构对保持头的相对推压力。

上述发明中，对上述的一个保持头，最好设置多个流体压缸。

另外，上述发明中，上述浮动机构，最好备有支承上述保持头的杆、和形成在上述驱动机构侧并供上述杆贯通的贯通孔；在上述一个杆上，设有上述一个流体压缸。

另外，上述发明中，上述保持头的至少被试验电子零件保持部，最好是可装卸的。

另外，上述杆最好可相对于上述驱动机构装卸。

本发明的交换组件，构成上述被试验电子零件保持部，其特征在于，做成为与上述接触部的配列和/或数目相应的、保持被试验电子零件的形状。

另外，本发明的交换组件，构成上述杆及保持头，其特征在于，做成为与上述接触部的配列和/或数目相应的形状。

本发明的电子零件试验装置，其特征在于，备有上述接触臂或上述交换组件。

本发明中，借助浮动机构，保持头可相对于驱动机构摆动，并且，借助流体压缸，可调节驱动机构对保持头的相对推压力。因此，只要调节流体压缸对保持头的推压力，就可以进行压力管理。

另外，对一个保持头设有多个流体压缸，通过调节各流体压缸的推压力，就可以修正接触部与保持头的相对倾斜。

另外，如果将流体压缸的推压力设定为一定值，就可以进行驱动机构的行程的管理。

另外，如果保持部的至少被试验电子零件保持部是可装卸的，则只要更换与接触部的配列和/或数目相应地形成的被试验电子零件保持部，就可以对应于这些接触部的配列和数目。

另外，如果杆相对于驱动机构可装卸，则通过更换杆和保持头，就可以与接触部的配列和数目对应。

图1是表示本发明电子零件试验装置实施例的平面图。