[发明专利]半导体器件的制造方法有效
申请号: | 01124759.2 | 申请日: | 2001-08-03 |
公开(公告)号: | CN1337739A | 公开(公告)日: | 2002-02-27 |
发明(设计)人: | 池谷浩司 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘宗杰,叶恺东 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 制造 方法 | ||
1.一种半导体器件的制造方法,该半导体器件在具有多个搭载部分的基板的该搭载部分的每一个上固定半导体芯片,用共同的树脂层把固定在上述各搭载部分的上述半导体芯片的每一个覆盖以后,使上述基板与上述树脂层搭接,粘贴在粘合片上,在粘贴在上述粘合片上的状态下进行切割以及测定,其特征在于:
对上述半导体芯片之一的上述基板的外部电极进行位置识别,并且测定进行了位置识别的上述半导体芯片,同时对位于其周围的多个半导体芯片不进行位置识别而进行测定。
2.如权利要求1中所述的半导体器件的制造方法,其特征在于:
上述半导体芯片中,测定进行了位置识别的半导体芯片,同时对位于其周围的4个上述半导体芯片不进行位置识别而进行测定。
3.如权利要求1中所述的半导体器件的制造方法,其特征在于:
测定上述半导体芯片时,固定识别用照相机以及探针的位置,移动上述半导体芯片进行测定。
4.如权利要求3中所述的半导体器件的制造方法,其特征在于:
上述识别用照相机在上述半导体芯片的上述基板的电极进行位置识别时,上述识别用照相机的视野在通过遮挡狭窄到一个半导体芯片大小的状态下进行位置识别。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造