[发明专利]一种压电谐振器制造方法无效
| 申请号： | 01135461.5 | 申请日： | 1997-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN1395367A | 公开（公告）日： | 2003-02-05 |
| 发明（设计）人： | 宇波俊彦;竹岛哲夫;马场俊行;草開重雅;吉野博秀;井上二郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/54 | 分类号： | H03H9/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 谐振器 制造 方法 | ||
1、一种压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，所述方法包含下列步骤：
1)准备多个压电层和多个内电极(36)叠合的层叠件(42)，
2)在所述层叠件(42)的一面上部分地形成绝缘膜(44)，使所述内电极(36)的端部暴露，
3)在所述层叠件(42)的所述表面上形成外电极(20，22)，
4)垂直于所述层叠件(42)的所述表面切割所述层叠件(42)。
2、如权利要求1所述的压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，还包含下列步骤：
在所述外电极(20，22)上形成包含导电材料的支持件(50)。
3、如权利要求2所述的压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，所述支持件(50)位于所述层叠件(42)的纵向中心。
4、如权利要求1至3之一所述的压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，还包含下列步骤：
在其上形成有所述外电极(20，22)的所述层叠件上形成凹槽(15)，所述凹槽(15)的方法平行于所述层叠件(42)的切割方向。
5、如权利要求1至4所述的压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，所述绝缘膜(44)以方格形式形成，其中一组所述绝缘膜(44)的交错行覆盖在一组所述内电极(36)的交错暴露部分上，另一组所述绝缘膜(44)的交错行覆盖在另一组所述内电极(36)的交错暴露部分上。
6、如权利要求5所述的压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，所述凹槽(15)形成在以方格形式形成的所述绝缘膜(44)的相邻行之间，并垂直于所述内电极(36)，在所述绝缘膜(44)的所述行上切割所述层叠件(42)，并平行于所述凹槽(15)。
7、如权利要求1至6之一所述的压电谐振器(10)的制造方法，其特征在于，所述层叠件(42)以这样的方式准备，在所述压电层的相对侧上交替暴露所述内电极(36)，在所述压电层的所述相对侧上形成一对极化电极(38，40)，并分别电连接到每隔一个的所述内电极(36)上，通过所述极化电极(38，40)和所述内电极(36)施加直流电压以极化所述压电层，并垂直于其层叠方向切割所述压电件和所述内电极(36)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01135461.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
