[发明专利]一种压电谐振器制造方法

说明书

本申请是申请号为97110865.X的分案申请

技术领域

本发明涉及一种压电谐振器制造方法。尤其是压电谐振器利用压电元件的机械共振，它包含具有纵向的基体元件、由极化压电元件组成并至少构成所述基体元件一部分的激励部件和一对设置有所述激励部件的外电极。使用这种压电谐振器的电子部件是例如振荡器、鉴别器和滤波器。

背景技术

图28是传统压电谐振器的透视图。压电谐振器1包括压电基片2，从上看，它呈例如矩形平板形。压电基片2在厚度方向上被极化。在压电基片2的两表面上形成电极3。当把信号在电极3之间输入时，在压电基片2上加上厚度方向的电场，压电基片2纵向振动。

在图29中，示出了这样一种压电谐振器1，电极3形成在压电基片2的两表面上，从上看压电基片2呈正方平板形。压电谐振器1的压电基片2以厚度方向极化。当把信号在压电谐振器1内的电极3之间输入时，在压电基片2上加上厚度方向的电场，压电基片2以正方形振动模式振动(平面方向)。

为了生产使用这种压电谐振器1的电子部件，如图30所示，把压电谐振器1安装在其上形成有图形电极4的绝缘基片5上。用作节点的压电谐振器1中心由形成在图形电极4上的支持件6提供支持，所以不会影响压电谐振器1的振动。支持件6用导电材料制成，并把图形电极4连接到压电谐振器1的一个电极3上。压电谐振器1的另一电极3用导线7连接到另一图形电极4上。一金属帽盖8放在绝缘基片5上。由于支持件6只支持用作节点的压电谐振器1的中心，所以在电子部件中，不会妨碍压电基片2的振动，防止了压电谐振器1的特性变坏。

这些压电谐振器是非加强型的，在这些谐振器中，振动方向与极化方向和电场方向不同。这种非加强型压电谐振器的机电耦合系数小于振动方向、极化方向以及所加的电场方向都相同的加强型压电谐振器。非加强型压电谐振器的谐振频率与反谐振频率之间的频率差ΔF较小。这产生了当把非加强频率谐振器用作振荡器或滤波器时，使用的频带宽度小的缺点。因此在这种压电谐振器和使用这种谐振器的电子部件内的特性设计自由度低。

图28所示的压电谐振器使用了纵向模式的一阶谐振。由于其结构，它还产生较大的奇数阶谐波模式和宽模式的寄生谐振，例如，三阶和五阶模式。为了抑制这些寄生谐振，考虑了一些措施，例如，磨光、增加质量以及改变电极的形状等。但这些措施增加了制造成本。

另外，由于从上看，压电基片的形状为矩形平板，所以由于强度的限制，基片不能更薄。因此电极之间的距离不能减小，且端子之间的容量不能做得较大。这对于实现与外部电路的阻抗匹配来说极其不便。为了通过交错串接和并接多个压电谐振器来形成梯形滤波器，串联谐振器对并联谐振器的电容比需要制得较大以增加衰减。然而，因为压电谐振器有上述的形状限制，所以不可能获得较大的衰减。

在图29所示的压电谐振器中，在平面方向上产生了较大的诸如厚度模式和三重波模式的寄生谐振。由于与利用纵向振动的压电谐振器相比，该压电谐振器需要更大的尺寸以获得相同的谐振频率，所以难以减小压电谐振器的体积。当用多个压电谐振器制作梯形滤波器时，为了增加串联谐振器与并联谐振器之间的电容比，要把串联谐振器做得较厚，并仅在压电基片的一部分上形成电极，以使电容较小。在这种情况下，由于只是部分制作电极，所以谐振频率与反谐振频率之差ΔF以及电容减小。并联谐振器需要有较小的ΔF。因此，压电基片的压电性没能有效利用，不能提高滤波器的传输带宽。

当用这种压电谐振器生产电子部件时，必须使用一根导线把压电谐振器连接到绝缘基片上的图形电极上。这增加了制造成本。要在图形电极上形成支持件，并把压电谐振器固定到支持件上。需要有严格的精度把压电谐振器的中心定位到支持件上。如果支持的位置偏移，则压电谐振器的振动将泄漏，不能得到很好的特性。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种上述种类的压电谐振器，其寄生谐振小，谐振频率与反谐振频率之差ΔF大，电容和ΔF可调节，并且特性设计有较大的自由度，还提供一种制造这种压电谐振器的方法。

本发明的另一个目的在于提供一种使用生产成本低并可以抑制特性退化的压电谐振器的电子部件。

本发明的又一个目的在于提供一种制造这种压电谐振器的方法，它可以容易地批量生产这种压电谐振器。