[发明专利]加压装置、加压装置的控制方法及加压装置的热板

权利要求书

1.加压装置，在可接近·分离的一对平板间设置热板，把加热器插入形成在该热板内部的孔中，在该加热器的外周部分与上述孔内周壁之间形成径方向间隙，该间隙形成供热介质流过的环状断面加热流路，用上述加热器加热该加热流路内的热介质，将上述热板加热；其特征在于，备有温度传感器、控制单元和可控硅单元；

上述温度传感器检测与热板温度有关的温度，输出实测温度信号；

上述控制单元接受上述实测温度信号，计算实测温度与目标温度的差，根据该差值决定上述加热器的加热所需的电力量，输出所需的电力输出信号，执行反馈控制；

上述可控硅单元具有可控硅，根据上述控制单元输出的所需电力输出信号，一边由可控硅调节供给电力的大小、一边将该电力供给上述加热器。

2.如权利要求1所述的加压装置，其特征在于，上述温度传感器安装在上述一对平板的一方上，根据该温度传感器的实测温度信号控制向上述两方平板的电加热器供给的电力。

3.如权利要求1或2所述的加压装置，其特征在于，上述加热流路与冷却器连接，当上述实测温度或热介质的温度高于规定值时，把从加热流路流出的热介质导向上述冷却器，当上述实测温度或热介质的温度低于预定值时，使热介质绕过冷却器。

4.如权利要求3所述的加压装置，其特征在于，上述规定值设定为：在热介质的朝向冷却器导入切换温度与热介质的绕冷却器切换温度间具有滞后现象。

5.加压装置的控制方法，该控制方法控制这样的加压装置：在可接近·分离的一对平板间设置热板，把加热器插入形成在该热板内部的孔中，在该加热器的外周部分与上述孔内周壁之间形成径方向间隙，该间隙形成供热介质流过的环状断面加热流路，用上述加热器加热该加热流路内的热介质，将上述热板加热；其特征在于具有以下步骤：

检测与热板温度有关的温度，输出实测温度信号；

接受上述实测温度信号，计算实测温度与目标温度的差，根据该差值决定加热器的加热所需的电力量，输出所需电力输出信号，实行反馈控制；

根据从控制单元输出的所需电力输出信号，一边调节可控硅调节供给电力的大小、一边将该电力供给加热器。

6.如权利要求5所述的加压装置的控制方法，其特征在于，用安装在上述一对平板的一方上的温度传感器检测与热板温度有关的温度。

7.如权利要求5或6所述的加压装置的控制方法，其特征在于，上述加热流路与冷却器连接，当上述实测温度或热介质的温度高于规定值时，把从加热流路流出的热介质导向上述冷却器，当上述实测温度或热介质的温度低于预定值时，使热介质绕过冷却器。

8.如权利要求7所述的加压装置的控制方法，其特征在于，上述预定值设定为：将热介质的朝向冷却器的导入切换温度与使上述冷却器的绕过切换温度之间有滞后现象。

9.加压装置的热板，通过把加热器插入设在热板本体内部的孔中而在该加热器的外周部分与孔的内壁间形成径方向间隙，由该间隙形成环状断面的加热流路，使从热板本体的入口流入的热介质经过加热流路从出口排出；其特征在于，把上述加热器的一端部固定在热板本体的一方侧面，把加热器的另一端部在径方向和轴方向留有间隙地插入设在热板本体另一侧面的有底孔内，抑制沿着加热器轴方向流过上述加热流路的热介质引起加热器的振动。

10.如权利要求4所述的加压装置的热板，其特征在于，上述径方向的间隙，其断面积小于加热流路的断面积。

11.如权利要求9或10所述的加压装置的热板，其特征在于，上述热板配置在上述加压装置的一对加压平板间。

12.如权利要求9至11中任一项所述的加压装置的热板，其特征在于，上述加热器是电加热器，把向该电加热器供给电力的配线从上述加热器的一端部固定侧引出。

13.如权利要求9至12中任一项所述的加压装置的热板，其特征在于，上述加热器的一端部侧通过法兰部以挟住密封垫的状态固定在热板本体的侧面，上述法兰部设在从热板本体的孔突出的端部。

14.如权利要求9至13中任一项所述的加压装置的热板，其特征在于，上述加热流路的断面积小于上述入口和出口的断面积。