[发明专利]半导体器件、半导体器件的制造方法和半导体器件的设计方法无效

专利信息
申请号: 01137969.3 申请日: 2001-09-28
公开(公告)号: CN1363954A 公开(公告)日: 2002-08-14
发明(设计)人: 新川田裕树 申请(专利权)人: 三菱电机株式会社
主分类号: H01L21/768 分类号: H01L21/768;H01L21/28;H01L21/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王勇,王忠忠
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体器件 制造 方法 设计
【权利要求书】:

1.一种在半导体衬底上层叠的多个分层中的规定分层上的芯片边缘中,在切割部内侧形成由与该分层上形成的布线图型相同材料构成的伪图型的半导体器件,其特征在于构成为在由所述伪图型的内缘、所述切割部外缘及任意2根平行线所构成的平面区域中,所述伪图型的面积相对该平面区域的整个面积占到50%以上。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于在所述规定分层上配备由与所述布线图型相同材料构成、沿着所述芯片边缘延伸的遮蔽用图型,所述伪图型接近所述遮蔽用图型形成。

3.根据权利要求2所述的半导体器件,其特征在于所述伪图型与所述遮蔽用图型连接形成。

4.根据权利要求2或3所述的半导体器件,其特征在于在所述遮蔽用图型下经层间绝缘膜形成下层的遮蔽用图型,所述遮蔽用图型和所述下层的遮蔽用图型经所述层间绝缘膜中形成的连接孔和填充该孔的导电膜连接,所述连接孔为沿着所述遮蔽用图型的槽状。

5.一种在半导体衬底上层叠的多个分层中的规定分层上的芯片边缘中,在切割部内侧形成由与该分层上形成的布线图型相同材料构成的伪图型的半导体器件,其特征在于在所述规定分层上配备由与所述布线图型相同材料构成、沿着所述芯片边缘延伸的遮蔽用图型,所述伪图型连接所述遮蔽用图型形成。

6.根据权利要求5所述的半导体器件,其特征在于在所述遮蔽用图型下经层间绝缘膜形成下层的遮蔽用图型,所述遮蔽用图型和所述下层的遮蔽用图型经所述层间绝缘膜中形成的连接孔和填充该孔的导电膜连接,所述连接孔为沿着所述遮蔽用图型的槽状。

7.一种半导体器件的制造方法,其特征在于具有:

在半导体衬底上形成的绝缘膜上形成布线层的工序;

选择地去除所述绝缘膜上的所述布线层、在芯片边缘的切割部内侧形成规定布线图型和伪图型、在由所述伪图型的内缘、所述切割部外缘及任意2根平行线所构成的平面区域,设定所述伪图型的面积,相对该平面区域的整个面积占到50%以上的工序;

在所述绝缘膜上形成层间绝缘膜以覆盖所述布线图型和所述伪图型的工序;

研磨所述层间绝缘膜来使之平坦化的工序。

8.根据权利要求7所述的半导体器件的制造方法,其特征在于选择地去除所述绝缘膜上的所述布线层,与所述布线图型和所述伪图型一起形成沿着所述芯片边缘的形状的遮蔽用图型。

9.根据权利要求8所述的半导体器件的制造方法,其特征在于将所述伪图型和所述遮蔽用图型作为一体的图型形成。

10.一种半导体器件的设计方法,其特征在于具有:

将半导体衬底上的规定分层中形成的布线层分类为规定的布线图型和伪图型而布置在芯片边缘的切割部内侧的步骤;

在由所述切割部外缘、所述伪图型的内缘及任意2根平行线所构成的平面区域中,计算所述伪图型的面积相对所述该平面区域的整个面积的比例的步骤;

将所述伪图型的面积比例与规定的阀值相比的步骤;

所述伪图型的面积比例小于所述阀值的情况下,扩大所述伪图型的面积的步骤。

11.根据权利要求10所述的半导体器件的设计方法,其特征在于所述阀值是所述伪图型的面积相对所述平面区域的整个面积的比例为50%以上的值。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三菱电机株式会社,未经三菱电机株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/01137969.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code