[实用新型]曝光机的电路板对位装置无效
申请号: | 01218815.8 | 申请日: | 2001-04-03 |
公开(公告)号: | CN2475052Y | 公开(公告)日: | 2002-01-30 |
发明(设计)人: | 张鸿明 | 申请(专利权)人: | 川宝科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁,顾红霞 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 电路板 对位 装置 | ||
1.一种曝光机的电路板对位装置,其包括有:
两组并设于曝光框底框外端底缘面的微调机构,其于一可移动的平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台,其中,第一伺服滑台带动平板位移,而设于平板内侧的第二伺服滑台则带动一延伸板位移,并于延伸板端部设置一具有上下伸缩弹性的对位销,且该底框的玻璃面对应该对位销设有供其穿伸且具游移空间的穿孔;
将上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶,电路板相对对位销设有对位孔;
一CCD影像拾取系统,其将摄像机设置于曝光框下方预定处。
2.根据权利要求1所述的曝光机的电路板对位装置,其特征在于所述对位销的顶端设成锥状体。
3.根据权利要求1所述的曝光机的电路板对位装置,其特征在于所述上、下底片及上玻璃面相对于对位销亦设有较大内径的穿孔或凹槽。
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