[实用新型]曝光机的电路板对位装置

说明书

本实用新型涉及一种对位装置，特别是涉及一种地位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的曝光机的电路板对位装置。

现有曝光机的电路板对位装置，是在曝光机的曝光框上设置若干定位销，而于电路板相对设有定位孔，以由定位销与定位孔间的套合关系，将电路板对位于曝光框；但为了套合的顺畅性，一般会使定位孔的孔径稍大于定位销的直径，如此所形成的对位误差尚可供一般的曝光制程使用，不过对于要求高精密度的曝光制程，则存在有精密度不良率高的缺陷。

本实用新型的主要目的在于提供一种曝光机的电路板对位装置，其于曝光框底框外端并设两组微调机构，而底框的玻璃面设有两个穿孔，供各微调机构的弹性伸缩对位销穿设，另在上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶，再于曝光框下方设置一CCD影像拾取系统的摄像机，用以检视电路板的标靶是否已到达定位，同时由CCD影像拾取系统送出控制讯号至微调机构；藉此，具有对位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的增进功效。

本实用新型的目的是由以下技术方案实现的。依据本实用新型提出的一种曝光机的电路板对位装置，其包括有：

两组并设于曝光框底框外端底缘面的微调机构，其于一可移动的平板上纵横设置一对微型精密伺服滑台，其中，第一伺服滑台带动平板位移，而设于平板内侧的第二伺服滑台则带动一延伸板位移，并于延伸板端部设置一具有上下伸缩弹性的对位销，且该底框的玻璃面对应该对位销设有供其穿伸且具游移空间的穿孔；

将上、下底片及电路板设有相互对位用的标靶，电路板相对对位销设有对位孔；

一CCD影像拾取系统，其将摄像机设置于曝光框下方预定处，并藉其所摄取的标靶叠合影像，控制该微调机构纵横设置的二微型精密伺服滑台动作。

本实用新型的目的还可以通过以下技术措施来进一步实现。

前述的曝光机的电路板对位装置，其中所述对位销的顶端设成锥状体。

前述的曝光机的电路板对位装置，其中所述上、下底片及上玻璃面相对于对位销亦设有较大内径的穿孔或凹槽。而不影响对位销带动中间的电路板游移。

本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和积极效果。

由以上技术方案可知，本实用新型是以电路板对位的结构方式，较现有以定位销与定位孔的套合对位方式，具有对位极为精准而符合精密曝光制程的对位精度要求的功效。且其是利用微调机构与CCD影像拾取系统，两者相辅相成，而能自动对位，勿需使用人工逐一定位，故可增进效率及产能，完全符合高科技产业的需求。

综上所述，本实用新型曝光机的电路板对位装置，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，且在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，而确实具有增进的功效，从而更加适于实用，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

本实用新型的具体结构由以下实施例及其附图详细给出。

图1是本实用新型实施例设置于曝光机的立体示意图；

图2是本实用新型实施例设置于曝光机的相关位置示意图；

图3是本实用新型实施例的微调机构设置于曝光框的相关位置示意图；

图4是本实用新型实施例的微调机构的结构俯视图；

图5是图4中A-A剖面的剖视图；

图6是本实用新型实施例的微调机构与CCD影像拾取系统的搭配关系示意图(一)；

图7是本实用新型实施例的微调机构与CCD影像拾取系统的搭配关系示意图(二)；

图8是本实用新型实施例的上、下底片及电路板藉其标靶相互对位的示意图(一)；

图9是本实用新型实施例的上、下底片及电路板藉其标靶相互对位的示意图(二)。

图号说明

(1)曝光框(22)、(23)第一、二伺服滑台(52)穿孔

(11)底框       (24)对位销         (61)标靶

(111)玻璃面    (241)锥状体        (62)对位孔

(112)穿孔      (3)CCD影像拾取系统 (5)下底片

(12)柜面       (31)摄像机         (6)电路板

(121)玻璃面    (4)上底片

(122)凹槽      (41)标靶

(2)微调机构    (42)穿孔

(21)平板       (51)标靶

以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的曝光机的电路板对位装置，其具体结构、特征及其功效，详细说明如后。