[实用新型]阴极靶修磨器

权利要求书

1、一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置的阴极靶修磨器，包括支架(2)、电机(9)和切削装置(5)，所述切削装置(5)包括铣刀(12)，该铣刀(12)通过刀柄(11)夹持在铣刀夹头(10)上，其特征在于：所述电机(9)通过传动装置(8)与切削装置(5)联接，所述传动装置(8)与铣刀夹头(10)间为磁性联接；所述支架(2)上设有驱动装置(13)，该驱动装置(13)与铣刀夹头(10)联接；所述切削装置(5)外侧设有波纹管(4)。

2、如权利要求1所述的阴极靶修磨器，其特征在于：所述波纹管(4)一端通过波纹管固定管(14)设置在支架(2)上，另一端通过波纹管移动板(3)与铣刀夹头(10)联接。

3、如权利要求2所述的阴极靶修磨器，其特征在于：所述支架(2)包括驱动装置支撑板(7)和切削装置支撑板(1)，所述驱动装置(13)设置在驱动装置支撑板(7)上，所述切削装置(5)设置在切削装置支撑板(1)上。

4、如权利要求3所述的阴极靶修磨器，其特征在于：所述驱动装置(13)包括汽缸(6)，所述汽缸(6)一端通过波纹管移动板(3)与铣刀夹头(10)联接，另一端设置在驱动装置支撑板(7)上。