[实用新型]阴极靶修磨器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种阴极靶修磨器，尤其是一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置中的阴极靶修磨器。

背景技术

背景技术中，由于离子源装置中的阴极靶靶面在放电过程中被电弧烧蚀后，会影响正常的放电，即容易灭弧，这时需要对靶面进行切削修磨，传统的修磨将该阴极靶卸下，在铣刀装置上修磨后，再将阴极靶装入离子源装置中，即铣刀装置与离子源装置分离，该结构的铣刀装置修磨阴极靶，具有以下缺点：

1、操作烦琐。由于镀膜装置是在真空状态下工作，即阴极靶是在真空状态下工作，当阴极靶面被电弧烧蚀后，需要将该阴极靶卸下，在铣刀装置上修磨后，再将阴极靶装入离子源装置中，此时需要对镀膜装置重新抽真空，阴极靶才能重新工作，即每修磨一次阴极靶面，都要重新抽一次真空，造成工作烦琐。

2、工作效率低。由于传统的修磨将该阴极靶卸下，然后进行修磨，这样做会影响离子源装置的正常工作，特别是在生产线上，会造成停工现象，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型解决了背景技术操作烦琐，工作效率低的技术问题。

本实用新型的技术方案是：本实用新型包括支架2、电机9和切削装置5，切削装置5包括铣刀12，该铣刀12通过刀柄11夹持在铣刀夹头10上，其特殊之处在于：所述电机9通过传动装置8与切削装置5联接，所述传动装置8与铣刀夹头10间为磁性联接；所述支架2上设有驱动装置13，该驱动装置13与铣刀夹头10联接；所述切削装置5外侧设有波纹管4。

上述波纹管4一端通过波纹管固定管14设置在支架2上，另一端通过波纹管移动板3与铣刀夹头10联接。

上述支架2包括驱动装置支撑板7和切削装置支撑板1，驱动装置13设置在驱动装置支撑板7上，切削装置5设置在切削装置支撑板1上。

上述驱动装置13包括汽缸6，该汽缸6一端通过波纹管移动板3与铣刀夹头10联接，另一端设置在驱动装置支撑板7上。

本实用新型具有以下优点：

1、操作简单。本实用新型直接设置在电子源装置中的镀膜装置上，其铣刀可直接伸到阴极靶靶面上进行切削修磨，不需将阴极靶卸下；并且本实用新型的切削装置外侧设有波纹管，其可保证切削装置与镀膜装置间保持真空，即修磨过程直接在真空状态下完成，不用重新抽真空，操作简单。

2、工作效率高。本实用新型与镀膜装置连为一体，其铣刀可直接伸到阴极靶靶面上进行切削修磨，不需将阴极靶卸下，可以保证生产线工作的连续性，工作效率高。

图面说明

附图为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

参见附图，本实用新型包括支架2、电机9和切削装置5，该切削装置5包括铣刀12，其通过刀柄11夹持在铣刀夹头10上，电机9通过传动装置8与切削装置5联接，传动装置8与铣刀夹头10间为磁性联接，采用磁性联接可保证切削装置5的真空密封；支架2包括驱动装置支撑板7和切削装置支撑板1，驱动装置13一端设置在驱动装置支撑板7上，另一端与铣刀夹头10联接，切削装置5一端设置在切削装置支撑板1上。驱动装置13可以为汽缸6，也可以为传统的用于铣刀装置的机械驱动装置，以汽缸6为宜，驱动装置为汽缸6时，其一端通过波纹管移动板3与铣刀夹头10联接，另一端设置在驱动装置支撑板7上；切削装置5外侧设有波纹管4。设置波纹管4，可保证切削装置5与镀膜装置间保持真空，同时该波纹管4可随汽缸6自由伸缩，使得切削装置5在切削过程中，切削装置5与镀膜装置间仍保持真空，该波纹管4一端通过波纹管固定管14设置在支架2上，另一端通过波纹管移动板3与铣刀夹头10联接，波纹管移动板3可随波纹管4水平移动，同时其可保持波纹管4内的密封。

当阴极靶面烧蚀后，由计算机发出指令，将阴极靶收回，同时将靶升到预定的位置，铣刀12在汽缸6的作用下伸到靶面上，铣刀12在电机9的驱动下旋转，阴极靶也同时进行旋转，对阴极靶面进行修磨，修磨完后，将铣刀12收回，阴极靶重新升回工作位置，继续放电工作。